| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光栅位移测量系统的发展及现状 | 第11-18页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 外差式光栅位移测量系统基本理论 | 第19-34页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 外差干涉测量的理论 | 第19-26页 |
| 2.2.1 外差法测量的原理 | 第19-21页 |
| 2.2.2 移频原理 | 第21-23页 |
| 2.2.3 相位差的测量 | 第23-26页 |
| 2.3 光栅位移测量理论 | 第26-33页 |
| 2.3.1 光栅的衍射特性分析 | 第27-30页 |
| 2.3.2 光栅位移特性分析 | 第30-33页 |
| 2.3.2.1 多缝衍射原理分析光栅位移特性 | 第31-32页 |
| 2.3.2.2 多普勒效应分析光栅位移特性 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 外差式光栅粗/细位移测量系统的光路设计 | 第34-44页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 外差式光栅粗/细位移测量系统 | 第34-41页 |
| 3.2.1 细测部分光路原理分析 | 第35-38页 |
| 3.2.2 粗测部分光路原理分析 | 第38-41页 |
| 3.3 系统实际测量光路 | 第41-43页 |
| 3.3.1 光栅选取规则 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 外差式光栅粗/细位移测量系统的误差及分析 | 第44-64页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 外差式光栅粗/细位移测量系统误差来源分析 | 第44-45页 |
| 4.3 光栅的加工误差 | 第45-48页 |
| 4.3.1 光栅栅距累积误差 | 第45页 |
| 4.3.2 光栅加工的圆角误差 | 第45-48页 |
| 4.4 周期非线性误差 | 第48-60页 |
| 4.4.1 偏振分光棱镜产生的误差 | 第49-56页 |
| 4.4.2 偏振片产生的误差 | 第56-60页 |
| 4.5 其他误差 | 第60-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 外差式光栅粗/细位移测量系统的实验及分析 | 第64-72页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 外差式光栅粗/细位移测量系统器件选择 | 第64-65页 |
| 5.3 外差式光栅粗/细位移测量系统等效光栅栅距测量 | 第65-66页 |
| 5.4 长行程测量 | 第66-68页 |
| 5.5 短行程测量 | 第68-69页 |
| 5.6 稳定度测量 | 第69-71页 |
| 5.7 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |