| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 透明导电膜电学特性测量国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外透明导电膜电学特性测量研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内透明导电膜电学特性测量研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 金属网栅透明导电膜电学特性测量目前存在的问题 | 第13页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 测量金属网栅方阻的多种四探针法对比研究 | 第15-36页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 测量金属网栅方阻时中介电极的引入 | 第15-16页 |
| 2.3 中介电极直线布置时的测量方案设计 | 第16-23页 |
| 2.3.1 常规四探针法 | 第16-19页 |
| 2.3.2 双电测四探针法 | 第19-22页 |
| 2.3.3 直线分布时中介电极设计 | 第22-23页 |
| 2.4 中介电极方形布置时的测量方案设计 | 第23-26页 |
| 2.4.1 方形四探针法 | 第23-25页 |
| 2.4.2 改进Rymazewski法 | 第25-26页 |
| 2.4.3 方形分布时中介电极设计 | 第26页 |
| 2.5 中介电极边缘布置时的测量方案设计 | 第26-33页 |
| 2.5.1 范德堡法 | 第26-29页 |
| 2.5.2 Rymazewski法 | 第29-32页 |
| 2.5.3 改进范德堡法 | 第32页 |
| 2.5.4 边缘分布时中介电极设计 | 第32-33页 |
| 2.6 探针游移的影响分析 | 第33-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 金属网栅方阻与网栅结构参数和屏蔽效率的关系分析 | 第36-46页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 等效电阻法测量金属网栅方阻的方案设计 | 第36-37页 |
| 3.3 金属网栅方阻与网栅结构参数关系分析 | 第37-42页 |
| 3.4 金属网栅屏蔽效率传输线理论分析法 | 第42-43页 |
| 3.5 金属网栅方阻值与屏蔽效率关系分析 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 金属网栅方阻测量实验 | 第46-60页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 金属网栅的设计与制备 | 第46-48页 |
| 4.3 金属网栅测量实验 | 第48-51页 |
| 4.4 测量不确定度分析 | 第51-55页 |
| 4.5 实验数据分析 | 第55-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67页 |