| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 介质阻挡放电 | 第9-15页 |
| 1.1.1 介质阻挡放电的电极结构 | 第9-10页 |
| 1.1.2 介质阻挡放电的物理过程 | 第10-12页 |
| 1.1.3 介质阻挡放电的主要参量 | 第12-15页 |
| 1.2 光谱法诊断等离子体 | 第15-19页 |
| 1.2.1 发射光谱法 | 第16-17页 |
| 1.2.2 激光诱导荧光光谱法 | 第17-18页 |
| 1.2.3 吸收光谱法 | 第18-19页 |
| 1.3 本论文的选题和研究思路 | 第19-20页 |
| 2 实验装置和实验流程 | 第20-24页 |
| 2.1 介质阻挡放电等离子体的光谱诊断装置 | 第20-22页 |
| 2.1.1 配气和抽气系统 | 第20-21页 |
| 2.1.2 腔室结构 | 第21页 |
| 2.1.3 电压-电荷(李萨如图形)测量装置 | 第21-22页 |
| 2.1.4 光谱测量系统 | 第22页 |
| 2.2 实验流程 | 第22-24页 |
| 2.2.1 吸收光谱法测量CF_2基团粒子数密度 | 第22-23页 |
| 2.2.2 发射光谱内标法测量CF_2基团粒子数密度 | 第23-24页 |
| 3 吸收光谱法测量CF_2基团粒子数密度 | 第24-34页 |
| 3.1 CF_2基团粒子数密度的诊断方法 | 第24-29页 |
| 3.1.1 吸收光谱谱带的选择 | 第24-27页 |
| 3.1.2 CF_2基团粒子数密度计算方法 | 第27-29页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第29-32页 |
| 3.2.1 气压对CF_2基团粒子数密度的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.2 放电功率对CF_2基团粒子数密度的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.3 CHF_3浓度对CF_2基团粒子数密度的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.4 电极间距对CF_2基团粒子数密度的影响 | 第32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 发射光谱内标法测量CF_2基团粒子数密度 | 第34-49页 |
| 4.1 发射光谱内标法测量CF_2基团粒子数密度的方法 | 第34-37页 |
| 4.2 发射光谱内标法测量CF_2基团粒子数密度 | 第37-41页 |
| 4.2.1 内标法测得气压对CF_2粒子数密度的影响 | 第37-38页 |
| 4.2.2 内标法测得放电功率对CF_2粒子数密度的影响 | 第38-39页 |
| 4.2.3 内标法测得CHF_3浓度对CF_2粒子数密度的影响 | 第39-40页 |
| 4.2.4 内标法测得电极间距对CF_2粒子数密度的影响 | 第40-41页 |
| 4.3 发射光谱内标法和吸收光谱法测量结果比较 | 第41-48页 |
| 4.3.1 内标法和吸收光谱法测得气压对CF_2粒子数密度的影响 | 第41-43页 |
| 4.3.2 内标法和吸收光谱法测得放电功率对CF_2粒子数密度的影响 | 第43-45页 |
| 4.3.3 内标法和吸收光谱法测得CHF_3浓度对CF_2粒子数密度的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.4 内标法和吸收光谱法测得电极间距对CF_2粒子数密度的影响 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
