| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 等离子体简介 | 第9页 |
| 1.2 等离子体的参数 | 第9-10页 |
| 1.3 等离子体的时空尺度 | 第10-11页 |
| 1.4 等离子体鞘层 | 第11页 |
| 1.5 低温等离子体中电子加热机制[6-10] | 第11-13页 |
| 1.6 射频容性耦合等离子体(CCP)与射频感性耦合等离子体(ICP) | 第13-17页 |
| 1.6.1 射频容性耦合等离子体的研究内容 | 第13-14页 |
| 1.6.2 射频感性耦合等离子体的研究内容 | 第14-15页 |
| 1.6.3 研究方法 | 第15-17页 |
| 1.7 单粒子轨道理论 | 第17-18页 |
| 1.8 本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 PIC-MCC模拟的一般方法 | 第19-36页 |
| 2.1 概述 | 第19-20页 |
| 2.2 PIC方法 | 第20-29页 |
| 2.2.1 带电粒子初始化 | 第21页 |
| 2.2.2 粒子云分布法求解网格电荷密度 | 第21-23页 |
| 2.2.3 求解泊松方程 | 第23-26页 |
| 2.2.4 带电粒子的推动 | 第26-28页 |
| 2.2.5 边界粒子的处理 | 第28-29页 |
| 2.2.6 数值模拟稳定性条件 | 第29页 |
| 2.3 蒙特卡罗碰撞(Monte Carlo Collision) | 第29-34页 |
| 2.3.1 粒子抽样与碰撞类型的选择 | 第30-31页 |
| 2.3.2 碰撞后粒子速度的确定 | 第31-34页 |
| 2.4 并行处理 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 横向磁场中低气压氩气射频容性耦合放电的二维PIC-MCC模拟 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 模型简介 | 第37-39页 |
| 3.3 模拟结果 | 第39-47页 |
| 3.3.1 总体对比 | 第39-41页 |
| 3.3.2 外加磁场的作用 | 第41-44页 |
| 3.3.3 电子和离子的流分布 | 第44-47页 |
| 3.4 讨论和分析 | 第47-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
