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大气压氮载气微波等离子体炬的发射光谱诊断及其特性研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-22页
    1.1 大气压等离子体概述第9-17页
        1.1.1 等离子体的基本概念和分类第9-10页
        1.1.2 常见大气压等离子体的放电形式第10-17页
    1.2 波导基大气压微波诱导等离子体的两种工作模式第17-20页
    1.3 实验研究背景及内容第20-22页
2 大气压微波等离子体炬的产生和测量系统第22-33页
    2.1 大气压微波等离子体炬的发生装置第22-26页
        2.1.1 微波能量的波导传输和阻抗匹配第23页
        2.1.2 微波等离子体炬的激励第23-25页
        2.1.3 微波等离子体炬的气流场控制系统第25-26页
    2.2 大气压微波等离子体炬的光谱学测量系统第26-33页
        2.2.1 光学成像及光纤耦合分析第27-30页
        2.2.2 消除光栅二级衍射和滤波片选择第30-32页
        2.2.3 光谱仪测量系统第32-33页
3 大气压N_2/Ar微波等离子体炬基本参数的光谱学诊断第33-50页
    3.1 电子温度的测量第34-36页
    3.2 气体温度测量第36-37页
    3.3 等离子体电子密度测量第37-40页
    3.4 利用斯塔克展宽计算等离子体电子密度第40-42页
    3.5 实验数据及分析第42-48页
    3.6 实验结论第48-50页
4 大气压N_2/H_2微波等离子体炬的初步发射光谱诊断第50-57页
    4.1 实验装置系统第51-52页
    4.2 实验现象和分析第52-56页
    4.3 实验结果第56-57页
结论第57-59页
参考文献第59-63页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第63-64页
致谢第64-65页

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