| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 大气压等离子体概述 | 第9-17页 |
| 1.1.1 等离子体的基本概念和分类 | 第9-10页 |
| 1.1.2 常见大气压等离子体的放电形式 | 第10-17页 |
| 1.2 波导基大气压微波诱导等离子体的两种工作模式 | 第17-20页 |
| 1.3 实验研究背景及内容 | 第20-22页 |
| 2 大气压微波等离子体炬的产生和测量系统 | 第22-33页 |
| 2.1 大气压微波等离子体炬的发生装置 | 第22-26页 |
| 2.1.1 微波能量的波导传输和阻抗匹配 | 第23页 |
| 2.1.2 微波等离子体炬的激励 | 第23-25页 |
| 2.1.3 微波等离子体炬的气流场控制系统 | 第25-26页 |
| 2.2 大气压微波等离子体炬的光谱学测量系统 | 第26-33页 |
| 2.2.1 光学成像及光纤耦合分析 | 第27-30页 |
| 2.2.2 消除光栅二级衍射和滤波片选择 | 第30-32页 |
| 2.2.3 光谱仪测量系统 | 第32-33页 |
| 3 大气压N_2/Ar微波等离子体炬基本参数的光谱学诊断 | 第33-50页 |
| 3.1 电子温度的测量 | 第34-36页 |
| 3.2 气体温度测量 | 第36-37页 |
| 3.3 等离子体电子密度测量 | 第37-40页 |
| 3.4 利用斯塔克展宽计算等离子体电子密度 | 第40-42页 |
| 3.5 实验数据及分析 | 第42-48页 |
| 3.6 实验结论 | 第48-50页 |
| 4 大气压N_2/H_2微波等离子体炬的初步发射光谱诊断 | 第50-57页 |
| 4.1 实验装置系统 | 第51-52页 |
| 4.2 实验现象和分析 | 第52-56页 |
| 4.3 实验结果 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |