气体质量流量控制器故障诊断装置设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 质量流量控制器简介 | 第9-11页 |
| 1.1.1 质量流量计概述 | 第9页 |
| 1.1.2 热式气体质量流量计和控制器 | 第9-10页 |
| 1.1.3 热式气体质量流量控制器历史和发展 | 第10-11页 |
| 1.2 MFC应用状况 | 第11页 |
| 1.3 MFC检修手段和现状 | 第11-12页 |
| 1.4 嵌入式诊断技术应用 | 第12-14页 |
| 1.4.1 嵌入式系统应用 | 第12页 |
| 1.4.2 诊断技术和诊断装置的国内外现状 | 第12-14页 |
| 1.5 MFC诊断设备研究意义 | 第14页 |
| 1.6 本章小结 | 第14-15页 |
| 1.7 本文主要内容及结构安排 | 第15-17页 |
| 第2章 MFC故障产生机理和分类 | 第17-25页 |
| 2.1 气体质量流量控制器组成 | 第17-19页 |
| 2.1.1 概述 | 第17页 |
| 2.1.2 分流通道 | 第17-18页 |
| 2.1.3 传感器 | 第18页 |
| 2.1.4 印制电路板 | 第18-19页 |
| 2.1.5 控制阀 | 第19页 |
| 2.2 质量流量控制器工作原理 | 第19-20页 |
| 2.3 故障产生机理研究 | 第20-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 诊断装置整体构架 | 第25-31页 |
| 3.1 需求分析 | 第25-26页 |
| 3.1.1 实现功能 | 第25-26页 |
| 3.1.2 硬件构架 | 第26页 |
| 3.2 硬件开发平台选择 | 第26-28页 |
| 3.3 嵌入式操作系统 | 第28-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 第4章 气路系统及整机设计 | 第31-37页 |
| 4.1 外围气路原理 | 第31-33页 |
| 4.2 阀门管件选择 | 第33-34页 |
| 4.3 结构布局 | 第34-35页 |
| 4.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第5章 嵌入式平台设计 | 第37-49页 |
| 5.1 装置电源设计 | 第37-38页 |
| 5.1.1 电源功率分析 | 第37页 |
| 5.1.2 电源选择 | 第37-38页 |
| 5.1.3 主板转换电源设计 | 第38页 |
| 5.2 模拟量输入输出设计 | 第38-42页 |
| 5.2.1 A/D转换器 | 第38-39页 |
| 5.2.2 D/A转换器 | 第39页 |
| 5.2.3 A/D D/A转换器选用 | 第39-41页 |
| 5.2.4 负电压输入处理 | 第41-42页 |
| 5.3 阀门驱动电路设计 | 第42-43页 |
| 5.3.1 驱动电路实现原理 | 第42页 |
| 5.3.2 继电器选用 | 第42页 |
| 5.3.3 驱动电路设计 | 第42-43页 |
| 5.4 接口电路设计 | 第43-46页 |
| 5.4.1 串口电路设计 | 第43页 |
| 5.4.2 USB接口电路设计 | 第43页 |
| 5.4.3 屏幕接口电路 | 第43-45页 |
| 5.4.4 核心板接口电路 | 第45-46页 |
| 5.5 PCB设计 | 第46-47页 |
| 5.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第六章 驱动开发 | 第49-57页 |
| 6.1 Win CE驱动介绍 | 第49-50页 |
| 6.2 驱动开发需求分析 | 第50-51页 |
| 6.3 SPI驱动实现 | 第51-53页 |
| 6.4 GPIO驱动实现 | 第53-55页 |
| 6.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第七章 诊断功能实现 | 第57-75页 |
| 7.1 故障诊断专家系统 | 第57-58页 |
| 7.2 人机界面实现 | 第58-60页 |
| 7.3 设备整体流程 | 第60-64页 |
| 7.4 规则库建立 | 第64-65页 |
| 7.5 诊断推理流程 | 第65-71页 |
| 7.6 编程实现 | 第71-73页 |
| 7.7 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
