| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 微流控技术概述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 微流控技术的发展及应用 | 第9-10页 |
| 1.2.2 微流控芯片用于在线液体密度检测 | 第10-13页 |
| 1.3 在线液体密度计概述 | 第13-17页 |
| 1.3.1 液体密度在线检测的重要性 | 第13页 |
| 1.3.2 液体密度在线检测方法与原理 | 第13-17页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第二章 球形玻璃谐振器的振动特性仿真 | 第18-26页 |
| 2.1 球形玻璃谐振器的振动特性分析 | 第18-21页 |
| 2.1.1 球形玻璃谐振器的模型建立 | 第18-19页 |
| 2.1.2 球形玻璃谐振器的模态分析 | 第19-20页 |
| 2.1.3 球形玻璃谐振器的谐响应分析 | 第20-21页 |
| 2.2 球形玻璃谐振器用于液体密度在线检测的可行性分析 | 第21-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 超声微流控芯片的制备 | 第26-38页 |
| 3.1 球形玻璃谐振器的制备理论 | 第26-29页 |
| 3.1.1 玻璃热成型加工工艺 | 第26-27页 |
| 3.1.2 热发泡法制备球形玻璃谐振器的理论基础 | 第27-29页 |
| 3.2 超声微流控芯片的设计 | 第29-33页 |
| 3.2.1 超声微流控芯片的材料选择 | 第29-30页 |
| 3.2.2 超声微流控芯片的结构设计 | 第30-33页 |
| 3.3 超声微流控芯片的制备 | 第33-36页 |
| 3.3.1 超声微流控芯片的制备方案 | 第33-34页 |
| 3.3.2 超声微流控芯片的制备结果及分析 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 超声微流控芯片的测试与分析 | 第38-50页 |
| 4.1 多普勒测振仪测试原理 | 第38-39页 |
| 4.2 超声微流控芯片的振动特性测试 | 第39-43页 |
| 4.2.1 超声微流控芯片的振动特性测试方案 | 第39-40页 |
| 4.2.2 超声微流控芯片的振动特性测试及分析 | 第40-43页 |
| 4.3 基于超声微流控芯片的微型液体密度计的测试及分析 | 第43-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 总结 | 第50页 |
| 5.2 展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
| 作者简介 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |