| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第11-17页 |
| 1.1 碲镉汞的研究背景 | 第11-13页 |
| 1.1.1 碲镉汞材料基本简介 | 第11-12页 |
| 1.1.2 传统pn结轮廓尺寸测量技术 | 第12-13页 |
| 1.2 激光束诱导电流法 | 第13-15页 |
| 1.3 I-V测试法 | 第15-16页 |
| 1.4 本文的研究目的和结构安排 | 第16-17页 |
| 1.4.1 本文的研究目的 | 第16页 |
| 1.4.2 本文的结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 激光束诱导电流法的原理及系统的搭建 | 第17-25页 |
| 2.1 前言 | 第17页 |
| 2.2 激光束诱导电流方法的原理 | 第17-19页 |
| 2.3 LBIC测试系统 | 第19-21页 |
| 2.4 LBIC测试系统的初步验证 | 第21-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 刻蚀成结样品pn结轮廓尺寸的测量 | 第25-37页 |
| 3.1 前言 | 第25页 |
| 3.2 刻蚀原理及刻蚀损伤机理 | 第25-26页 |
| 3.3 刻蚀成结样品的制备和测试方法 | 第26-28页 |
| 3.4 激光诱导电流法（LBIC）表征pn结结区扩展情况 | 第28-33页 |
| 3.4 I-V测试法表征pn结结区扩展情况 | 第33-36页 |
| 3.5 小结 | 第36-37页 |
| 第四章 离子注入成结样品pn结轮廓尺寸的测量 | 第37-55页 |
| 4.1 前言 | 第37页 |
| 4.2 离子注入成结机制及注入损伤的产生 | 第37-38页 |
| 4.3 注入成结样品的结构以及测试方法 | 第38-39页 |
| 4.4 Hg空位掺杂碲镉汞材料离子注入pn结的测量结果 | 第39-44页 |
| 4.4.1 Hg空位掺杂碲镉汞材料离子注入pn结的LBIC测量结果 | 第39-42页 |
| 4.4.2 Hg 空位掺杂碲镉汞材料离子注入 pn 结的 I-V 测量结果 | 第42-44页 |
| 4.5 In、Au掺杂p型碲镉汞材料离子注入pn结的测量结果 | 第44-52页 |
| 4.5.1 热处理前pn结的LBIC测量结果 | 第44-50页 |
| 4.5.2 不同热处理时间后pn结的LBIC测量结果 | 第50-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-55页 |
| 第五章 总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 结论 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第61页 |
