| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的来源、目的及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 飞秒激光加工技术及应用现状 | 第10-11页 |
| 1.3 飞秒激光并行加工技术发展现状 | 第11-14页 |
| 1.3.1 多激光器法 | 第12页 |
| 1.3.2 多光束干涉 | 第12-13页 |
| 1.3.3 微透镜阵列 | 第13-14页 |
| 1.4 液晶空间光调制器的发展现状 | 第14页 |
| 1.5 液晶空间光调制器的应用介绍 | 第14-15页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 空间光调制器相位全息图对多光束控制研究 | 第17-28页 |
| 2.1 空间光调制器的工作原理 | 第17-20页 |
| 2.1.1 液晶空间光调制器的相位调制原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 液晶空间光调制器衍射光栅的模拟 | 第19-20页 |
| 2.2 液晶空间光调制器相位全息图实现多光束原理 | 第20-21页 |
| 2.3 相位全息图对多光束控制的几种算法 | 第21-26页 |
| 2.3.1 达曼光栅 | 第21-23页 |
| 2.3.2 GL算法 | 第23-24页 |
| 2.3.3 GS算法 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 飞秒激光并行加工系统 | 第28-36页 |
| 3.1 并行加工系统原理及框图 | 第28-29页 |
| 3.2 飞秒激光器 | 第29页 |
| 3.3 液晶空间光调制器 | 第29-32页 |
| 3.4 4F光学系统 | 第32-33页 |
| 3.5 CCD相机 | 第33页 |
| 3.6 三维运动平台 | 第33-34页 |
| 3.7 实验光路介绍 | 第34-35页 |
| 3.8 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 飞秒激光PMMA材料内部直写光栅的研究 | 第36-42页 |
| 4.1 飞秒激光在透明介质中的损伤定义 | 第36页 |
| 4.2 飞秒激光烧蚀PMMA材料的机理 | 第36-37页 |
| 4.3 雪崩电离机理和多光子电离机理 | 第37-38页 |
| 4.3.1 雪崩电离机理 | 第37页 |
| 4.3.2 多光子电离机理 | 第37-38页 |
| 4.4 飞秒激光在PMMA材料内部直写光栅的研究 | 第38-41页 |
| 4.4.1 飞秒激光PMMA材料光折变能量的摸索 | 第38-40页 |
| 4.4.2 飞秒激光单光束PMMA材料直写光栅的研究 | 第40-41页 |
| 4.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第42-47页 |
| 5.1 三维运动台控制程序 | 第42-43页 |
| 5.2 基于LABVIEW产生叠加相位全息图 | 第43-44页 |
| 5.3 加工实验过程及结果 | 第44-47页 |
| 5.3.1 图案加工结果 | 第44-46页 |
| 5.3.2 飞秒激光多光束PMMA材料直写光栅 | 第46-47页 |
| 第6章 总结与展望 | 第47-49页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第47页 |
| 6.2 对今后工作的展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 附录1攻读硕士学位期间发表学术论文及荣誉 | 第51-52页 |