| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1. 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1. MEMS概述 | 第11-13页 |
| 1.2. MEMS加速度计研究背景及发展现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1. MEMS加速度计研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2.2. 国外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3. 国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3. 论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2. MEMS电容式加速度计基本原理 | 第19-29页 |
| 2.1. 加速度计工作原理 | 第19-21页 |
| 2.2. 加速度计类型及原理 | 第21-25页 |
| 2.2.1. 压阻式加速度计 | 第21-22页 |
| 2.2.2. 压电式加速度计 | 第22页 |
| 2.2.3. 隧道电流式加速度计 | 第22-23页 |
| 2.2.4. 电容式加速度计 | 第23-25页 |
| 2.2.4.1. 变间距式检测原理 | 第23-24页 |
| 2.2.4.2. 变面积式检测原理 | 第24-25页 |
| 2.3. 加速度计阻尼分析 | 第25-27页 |
| 2.3.1. 滑膜阻尼 | 第25-26页 |
| 2.3.2. 压膜阻尼 | 第26-27页 |
| 2.4. 本章小结 | 第27-29页 |
| 3. MEMS电容式加速度计结构设计和仿真 | 第29-42页 |
| 3.1. 加速度计结构设计 | 第29-35页 |
| 3.1.1. 弹性梁的分析及设计 | 第29-32页 |
| 3.1.1.1. 双轴加速度计弹性梁设计 | 第29-31页 |
| 3.1.1.2. Z轴加速度计整体结构设计 | 第31-32页 |
| 3.1.2. 加速度计整体结构的设计 | 第32-34页 |
| 3.1.3. 结构交叉耦合性分析 | 第34-35页 |
| 3.2. 加速度计结构仿真及分析 | 第35-41页 |
| 3.2.1. 力学特性分析 | 第35-38页 |
| 3.2.2. 结构强度分析 | 第38-39页 |
| 3.2.3. 模态分析 | 第39-41页 |
| 3.3. 本章小结 | 第41-42页 |
| 4. MEMS电容式加速度计版图设计和工艺制作 | 第42-53页 |
| 4.1. MEMS电容式加速度计版图设计 | 第42-43页 |
| 4.2. MEMS加工技术 | 第43-47页 |
| 4.2.1. 表面硅微机械加工技术 | 第44-45页 |
| 4.2.2. 体硅微机械加工技术 | 第45-46页 |
| 4.2.2.1. 湿法刻蚀 | 第45-46页 |
| 4.2.2.2. 干法刻蚀 | 第46页 |
| 4.2.3. LIGA加工工艺 | 第46-47页 |
| 4.3. MEMS电容式加速度计制备工艺流程流程 | 第47-51页 |
| 4.4. 本章小结 | 第51-53页 |
| 5. MEMS电容式加速度计检测电路 | 第53-59页 |
| 5.1. 检测电路整体结构分析 | 第53-54页 |
| 5.2. 各电路模块分析设计 | 第54-57页 |
| 5.2.1. 调制放大电路 | 第54-55页 |
| 5.2.2. 带通滤波器 | 第55页 |
| 5.2.3. 同步检波电路 | 第55-56页 |
| 5.2.4. 低通滤波器 | 第56-57页 |
| 5.3. MEMS加速度计测试 | 第57-58页 |
| 5.4. 本章小结 | 第58-59页 |
| 6. 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1. 全文总结 | 第59-60页 |
| 6.2. 未来工作的展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 在读期间发表的学术论文、专利及参加的科研项目 | 第66页 |