AFM纳米镊子激光测力系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·纳米操作系统研究现状 | 第10-14页 |
| ·纳米操作工具的研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15-16页 |
| ·课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 AFM 纳米镊子激光测力系统的设计 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·原子力显微镜 | 第17-22页 |
| ·AFM 的工作原理 | 第17-18页 |
| ·AFM 的组成 | 第18-20页 |
| ·AFM 的工作模式 | 第20-22页 |
| ·AFM 纳米镊子激光测力系统工作原理设计 | 第22-27页 |
| ·AFM 纳米镊子的工作原理 | 第22-25页 |
| ·AFM 纳米镊子激光测力系统的工作原理 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 AFM 纳米镊子激光测力系统的实现 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·激光测力系统结构方案 | 第28-29页 |
| ·激光测力系统中构件的选型 | 第29-34页 |
| ·光电位置检测器的选择 | 第29-31页 |
| ·激光器的选择 | 第31-32页 |
| ·透镜和反射镜的选择 | 第32-33页 |
| ·微小移动台以及一些辅助器件的选择 | 第33-34页 |
| ·激光测力系统的结构设计 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 AFM 纳米镊子激光测力系统的标定 | 第38-56页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·AFM 纳米镊子激光测力系统标定方法 | 第38-39页 |
| ·激光测力系统灵敏度标定装置的设计与原理 | 第39-43页 |
| ·柔性铰链简述 | 第39-40页 |
| ·激光测力系统灵敏度标定装置的设计 | 第40-42页 |
| ·激光测力系统灵敏度标定装置的有限元分析 | 第42-43页 |
| ·AFM 纳米镊子激光测力系统的标定 | 第43-55页 |
| ·标定实验系统的建立 | 第43-44页 |
| ·激光测力系统标定实验 | 第44-47页 |
| ·激光测力系统灵敏度非线性补偿 | 第47-53页 |
| ·激光测力系统分辨率检测实验 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 系统性能测试及实验研究 | 第56-62页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·实验系统的建立 | 第56-57页 |
| ·表面形貌扫描实验 | 第57-59页 |
| ·AFM 探针Pull-off 力测定实验 | 第59页 |
| ·摩擦力测定实验 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
