衍射光栅杂散光测试仪模型设计及性能评价方法研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·研究现状及发展趋势 | 第13-18页 |
| ·国外研究现状 | 第13-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-17页 |
| ·发展趋势 | 第17-18页 |
| ·论文主要研究内容和结构 | 第18-20页 |
| ·论文的主要内容 | 第18-19页 |
| ·论文的结构安排 | 第19-20页 |
| 第2章 光栅杂散光测试仪设计原理及技术要求 | 第20-30页 |
| ·光栅杂散光测试仪设计的理论基础 | 第20-22页 |
| ·光栅杂散光测试仪技术要求 | 第22-27页 |
| ·设备功能及性能指标 | 第22-23页 |
| ·设备系统组成 | 第23-27页 |
| ·光源和能量监视系统 | 第24页 |
| ·扩束变焦系统 | 第24-25页 |
| ·前置单色光输出和能量控制系统 | 第25-26页 |
| ·测量系统 | 第26页 |
| ·接收系统 | 第26-27页 |
| ·控制系统 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-30页 |
| 第3章 光栅杂散光测试仪模型设计 | 第30-46页 |
| ·测量系统光机模型设计 | 第30-38页 |
| ·测量系统总体介绍 | 第30-32页 |
| ·测量系统光学设计与仿真建模 | 第32-37页 |
| ·测量系统机械设计与仿真建模 | 第37-38页 |
| ·测量系统散射模型设计 | 第38-45页 |
| ·ASAP 简介 | 第38-40页 |
| ·双向反射分布函数 BRDF | 第40-43页 |
| ·测量系统散射模型详细参数设计 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 光栅杂散光测试仪杂光分析及抑制方法研究 | 第46-64页 |
| ·仪器杂光水平评价指标 | 第46-48页 |
| ·常用杂光分析指标 | 第46-47页 |
| ·光栅杂散光测试仪杂光水平评价指标 | 第47-48页 |
| ·仪器杂光来源分析 | 第48-50页 |
| ·关键表面及杂光定性分析 | 第48-49页 |
| ·仪器杂光来源定量分析 | 第49-50页 |
| ·仪器杂光抑制措施 | 第50-57页 |
| ·仪器散射光抑制方法 | 第50-55页 |
| ·遮光罩结构设计 | 第50-52页 |
| ·叶片结构设计 | 第52-55页 |
| ·光栅多次衍射光抑制方法 | 第55-56页 |
| ·光阑结构设计 | 第55页 |
| ·光学陷阱结构设计 | 第55-56页 |
| ·完整系统的杂光抑制措施 | 第56-57页 |
| ·采取抑制措施后仪器杂光分析 | 第57-59页 |
| ·仪器关键元件的指标要求 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·论文工作总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第70-71页 |
| 指导教师及作者简介 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
