| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·斐索型波长移相干涉仪国内外发展现状 | 第12-16页 |
| ·论文主要研究工作 | 第16-18页 |
| 第2章 移相干涉测量技术 | 第18-35页 |
| ·移相干涉测量基本原理 | 第18-21页 |
| ·常见移相器工作原理 | 第21-25页 |
| ·移相算法 | 第25-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 波长移相干涉测量技术与关键器件选型 | 第35-48页 |
| ·Φ100mm 斐索型波长移相干涉仪系统 | 第35-37页 |
| ·影响干涉仪测量面形 RMS 重复性的主要误差因素 | 第37-44页 |
| ·关键器件选型 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 波长移相干涉仪移相步长标定方法研究 | 第48-63页 |
| ·可用于干涉仪标定的典型移相算法 | 第49-55页 |
| ·两帧差分平均移相算法(TDA) | 第55-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 Φ100mm 波长移相干涉仪装置 | 第63-70页 |
| ·课题组实验装置 | 第63-64页 |
| ·测量面形 RMS 重复性测量和系统误差标定 | 第64-67页 |
| ·误差分析与讨论 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·结论 | 第70-71页 |
| ·课题展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第78-79页 |
| 指导教师及作者简介 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |