| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状与进展 | 第11-12页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 FBAR传感器的工作原理 | 第14-21页 |
| ·薄膜体声波谐振理论基础 | 第14-17页 |
| ·压电效应 | 第14-15页 |
| ·FBAR传感器中的声波模式 | 第15-17页 |
| ·FBAR传感器结构基础 | 第17页 |
| ·FBAR微质量传感器电学模型 | 第17-18页 |
| ·信号的采集 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 信号处理的模拟部分 | 第21-31页 |
| ·压控振荡电路 | 第21-23页 |
| ·滤波器 | 第23-26页 |
| ·混频器 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 信号处理的数字部分 | 第31-56页 |
| ·频率采集法的方法 | 第31-34页 |
| ·直接测频法 | 第31-33页 |
| ·等精度测量 | 第33页 |
| ·全同步测频法 | 第33-34页 |
| ·基于VERILOG HDL在QUARTUS的仿真 | 第34-35页 |
| ·信号处理数字部分的实现 | 第35-55页 |
| ·量程选择模块 | 第36-41页 |
| ·控制模块 | 第41-45页 |
| ·周期计数模块 | 第45-46页 |
| ·除法器模块 | 第46-51页 |
| ·小数点模块 | 第51-53页 |
| ·顶层设计模块 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |