基于SOI的级联双环谐振腔光波导传感器研究

致谢	第1-6页
摘要	第6-8页
Abstract	第8-10页
目次	第10-12页
1. 绪论	第12-24页
本章提要	第12页
·引言	第12-13页
·表面等离子波(SPR)传感器	第13-14页
·光纤传感器	第14-15页
·平面光波导传感器	第15-21页
·基于干涉的光波导传感器	第16-17页
·基于环形谐振腔的光波导传感器	第17-19页
·光子晶体传感器	第19-20页
·光波导材料	第20-21页
·本论文章节安排	第21-22页
·本论文主要创新点	第22-24页
2. 光波导基本理论及SOI波导基础分析	第24-46页
本章提要	第24页
·平板波导分析方法	第24-29页
·电磁场理论分析法	第24-27页
·传输矩阵分析法	第27-29页
·条形波导的近似求解方法	第29-31页
·数值模拟方法	第31-37页
·有限差分法	第31-34页
·束传播法	第34-37页
·SOI波导倏逝场传感灵敏度分析	第37-40页
·SOI脊型波导TM模式的侧向泄漏	第40-42页
·SOI波导的耦合问题	第42-46页
3. 环形谐振腔基本理论及基础分析	第46-62页
本章提要	第46页
·环形谐振腔的基本理论	第46-50页
·基本结构	第46-47页
·谐振方程	第47页
·谐振环半径	第47-48页
·半径-波长色散方程	第48-49页
·自由光谱范围FSR	第49页
·精细度和品质因子	第49-50页
·环形谐振腔的解析分析	第50-54页
·振幅耦合方程	第50-51页
·单环滤波器	第51-52页
·传递函数	第52-54页
·环形谐振腔的特性分析	第54-59页
·能量耦合比的影响	第55-57页
·波导损耗的影响	第57-58页
·谐振腔腔长的影响	第58-59页
·环形谐振腔传感	第59-62页
·环形谐振腔传感器的优点	第59-60页
·微环传感器的传感基础原理分析	第60-62页
4. 级联环形谐振腔传感器	第62-94页
本章提要	第62页
·级联双环传感器的结构	第62-63页
·级联双环的滤波特性	第63-65页
·级联双环的的透射谱分析	第63-64页
·级联双环的游标效应	第64-65页
·基于波长的探测方式	第65-74页
·基于透射谱中心波长移动的探测	第65-70页
·基于透射谱中心双峰强度比的探测	第70-74页
·基于光强度的探测方式	第74-85页
·不等环情况的分析	第74-79页
·等环情况的分析	第79-83页
·环形腔腔长的影响	第83-85页
·三种探测方式的讨论与比较	第85-87页
·双环谐振腔与MZI复合结构传感器	第87-91页
·双环谐振腔干涉复合结构	第87-89页
·级联双环结构与双环干涉复合结构的传感比较	第89-91页
·波分复用多通道传感	第91-94页
5. 工艺制作及实验研究	第94-122页
本章提要	第94页
·波导材料与结构	第94页
·芯片制作工艺	第94-105页
·光刻	第95-100页
·波导刻蚀与除胶	第100-103页
·二次光刻(Su-8胶套刻)	第103-104页
·研磨减薄	第104-105页
·基础性能验证	第105-110页
·透射谱中心波长移动探测方式的实验分析	第110-114页
·透射谱中心双峰强度比探测方式的实验分析	第114-116页
·光功率探测方式的实验分析	第116-122页
6. 总结与展望	第122-128页
·国际同行的相关工作	第122-125页
·总结与展望	第125-128页
参考文献	第128-136页
作者简介	第136页
博士在读期间发表的论文	第136-137页
博士在读期间授权和申请的发明专利	第137页