| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-17页 |
| ·半导体300mm晶圆集束设备简介 | 第10页 |
| ·什么是CIM | 第10-11页 |
| ·半导体后段制造及其自动化 | 第11-12页 |
| ·SEMI组织和相关集束设备标准 | 第12-15页 |
| ·SEMI组织简介 | 第12页 |
| ·SEMI集束设备架构 | 第12-14页 |
| ·SECS/GEM协议简介 | 第14页 |
| ·针对该协议簇国内外相关的研究状况 | 第14-15页 |
| ·基于ARM9的嵌入式平台及相关接口 | 第15页 |
| ·主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 SECS/GEM半导体设备自动化通信模型的构建 | 第17-34页 |
| ·SECS/GEM分层模型总框架 | 第17-18页 |
| ·SECS-Ⅰ协议解析 | 第18-21页 |
| ·SECS-Ⅱ协议解析 | 第21-24页 |
| ·Stream分类 | 第21-22页 |
| ·SECS-Ⅱ报文格式 | 第22-24页 |
| ·SECS-Ⅱ会话模式 | 第24页 |
| ·HSMS协议解析 | 第24-29页 |
| ·HSMS报文格式 | 第24-26页 |
| ·HSMS状态转换 | 第26-27页 |
| ·HSMS会话及时延 | 第27-29页 |
| ·GEM协议解析 | 第29-33页 |
| ·GEM设备状态模型 | 第30-32页 |
| ·设备功能 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 基于ARM9的工业控制平台的设计 | 第34-47页 |
| ·ARM概述 | 第34-35页 |
| ·ARM9的控制平台的总体硬件设计 | 第35-36页 |
| ·ARM9存储系统设计 | 第36-39页 |
| ·系统电源电路设计 | 第39-41页 |
| ·时钟电路设计 | 第41页 |
| ·串口电路设计 | 第41-42页 |
| ·JTAG接口电路设计 | 第42-43页 |
| ·USB接口电路设计 | 第43页 |
| ·以太网接口电路设计 | 第43-44页 |
| ·其他接口电路设计 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 系统接口设计 | 第47-56页 |
| ·总体设计方案 | 第47-48页 |
| ·接口模块总体设计方案 | 第48-49页 |
| ·PIC单片机模块 | 第49-50页 |
| ·光电隔离输入模块 | 第50-51页 |
| ·继电器输出模块 | 第51-54页 |
| ·USB电路模块 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 Linux移植及软件总体设计 | 第56-65页 |
| ·系统总体设计 | 第56-57页 |
| ·Linux系统的移植 | 第57-62页 |
| ·SECS-Ⅰ/HSMS通信模块 | 第62-63页 |
| ·SECS-Ⅱ报文管理模块 | 第63页 |
| ·GEM应用模块 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 HSMS/SECS-Ⅰ通信模块设计 | 第65-76页 |
| ·TCP通信模型 | 第65-66页 |
| ·Linux下TCP套接字接口 | 第66-68页 |
| ·HSMS报文解析模块 | 第68-69页 |
| ·HSMS通信控制模块 | 第69-70页 |
| ·报文管理模块 | 第70-71页 |
| ·SECS-Ⅰ通信接口层的设计 | 第71-75页 |
| ·通信接口初始化 | 第71-72页 |
| ·SECS-Ⅰ消息接收处理 | 第72-75页 |
| ·SECS-Ⅰ消息发送处理 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第七章 SECS-Ⅱ/GEM层软件设计 | 第76-86页 |
| ·SECS-Ⅰ/HSMS报文数据格式 | 第76-77页 |
| ·SECS-Ⅱ消息设计 | 第77-81页 |
| ·SECS-Ⅱ消息解析 | 第81-84页 |
| ·GEM设备通用功能的数据结构 | 第84页 |
| ·GEM数据采集系统设计 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第八章 SECS/GEM系统测试 | 第86-94页 |
| ·接口电路的测试 | 第86-88页 |
| ·ARM9工控平台移植Linux的测试 | 第88-89页 |
| ·系统综合测试 | 第89-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第九章 总结与展望 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-100页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第100页 |