| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-24页 |
| 1-1 研究背景 | 第11-14页 |
| 1-1-1 太阳能光伏产业的发展意义 | 第11-12页 |
| 1-1-2 太阳能光伏发电产业现状 | 第12-13页 |
| 1-1-3 太阳能光伏技术发展背景 | 第13-14页 |
| 1-2 微晶硅太阳能电池的研究意义 | 第14-18页 |
| 1-2-1 硅薄膜太阳能电池 | 第14-15页 |
| 1-2-2 微晶硅薄膜太阳能电池 | 第15-17页 |
| 1-2-3 高速沉积微晶硅的意义 | 第17-18页 |
| 1-3 微晶硅薄膜高速沉积及微晶硅电池的研究现状 | 第18-23页 |
| 1-4 本论文组织结构 | 第23-24页 |
| 第二章 微晶硅材料及其电池的物理基础、沉积技术及特性表征方法 | 第24-59页 |
| 2-1 微晶硅材料及微晶硅电池 | 第24-28页 |
| 2-1-1 微晶硅材料 | 第24-26页 |
| 2-1-2 微晶硅太阳能电池 | 第26-28页 |
| 2-2 硅薄膜沉积技术概述 | 第28-40页 |
| 2-2-1 等离子体 | 第28-30页 |
| 2-2-2 Townsend 理论 | 第30-31页 |
| 2-2-3 等离子体的交流放电过程 | 第31-32页 |
| 2-2-4 等离子体生成方法 | 第32-35页 |
| 2-2-5 PECVD 原理 | 第35页 |
| 2-2-6 PECVD 法制备硅薄膜 | 第35-37页 |
| 2-2-7 微晶硅薄膜的生长机理 | 第37-40页 |
| 2-3 实验基础 | 第40-41页 |
| 2-3-1 实验设备 | 第40-41页 |
| 2-3-2 实验耗材 | 第41页 |
| 2-4 测试手段及特性表征 | 第41-58页 |
| 2-4-1 薄膜厚度的测量 | 第41-44页 |
| 2-4-2 电学特性的测试 | 第44-46页 |
| 2-4-3 吸收谱 | 第46-49页 |
| 2-4-4 结构特性测试 | 第49-53页 |
| 2-4-5 电池性能表征和测试手段 | 第53-57页 |
| 2-4-6 等离子体光谱测试 | 第57-58页 |
| 2-5 小结 | 第58-59页 |
| 第三章 影响微晶硅薄膜材料高速沉积的因素 | 第59-74页 |
| 3-1 微晶硅沉积速率影响因素 | 第59-72页 |
| 3-1-1 压力对微晶硅沉积速率的影响 | 第59-61页 |
| 3-1-2 辉光功率对微晶硅沉积速率的影响 | 第61-64页 |
| 3-1-3 硅烷浓度（SC）对微晶硅沉积速率的影响 | 第64-66页 |
| 3-1-4 电极间距影响微晶硅生长速率的过程分析 | 第66-68页 |
| 3-1-5 衬底温度对微晶硅生长速率的影响 | 第68-70页 |
| 3-1-6 反应气体总流量对微晶硅生长速率的影响 | 第70-71页 |
| 3-1-7 微晶硅薄膜高速沉积的实现 | 第71-72页 |
| 3-2 小结—影响微晶硅高速沉积的因素 | 第72-74页 |
| 第四章 影响微晶硅薄膜特性的因素 | 第74-91页 |
| 4-1 气压对高速沉积的微晶硅薄膜性能的影响 | 第74-76页 |
| 4-2 电极间距对高速微晶硅薄膜性能的影响 | 第76-78页 |
| 4-3 衬底温度对高速微晶硅薄膜性能的影响 | 第78-80页 |
| 4-4 辉光功率对高速微晶硅薄膜性能的影响 | 第80-82页 |
| 4-5 气体流量对高速微晶硅薄膜质量的影响 | 第82-86页 |
| 4-6 优质微晶硅薄膜的高速沉积 | 第86-89页 |
| 4-7 小结 | 第89-91页 |
| 第五章 高速沉积微晶硅材料特性的影响 | 第91-101页 |
| 5-1 沉积速率对微晶硅薄膜光电特性的影响 | 第91-93页 |
| 5-2 沉积速率对微晶硅薄膜纵向微结构的影响 | 第93-95页 |
| 5-3 沉积速率对微晶硅材料结晶取向及晶粒尺寸的影响 | 第95-98页 |
| 5-4 沉积速率对微晶硅薄膜致密性的影响 | 第98页 |
| 5-5 沉积速率对微晶硅薄膜表面形貌的影响 | 第98-100页 |
| 5-6 小结 | 第100-101页 |
| 第六章 微晶硅材料光衰退 | 第101-107页 |
| 6-1 样品制备及材料初始性能 | 第101-102页 |
| 6-2 光敏性实验 | 第102-104页 |
| 6-3 光衰退实验 | 第104-105页 |
| 6-4 退火实验 | 第105-106页 |
| 6-5 小结 | 第106-107页 |
| 第七章 总结和展望 | 第107-109页 |
| 7-1 总结 | 第107-108页 |
| 7-2 展望 | 第108页 |
| 7-3 创新 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-119页 |
