基于共晶键合技术的压电能量采集器的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第12-16页 |
| ·国内外研究进展 | 第16-21页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第21-22页 |
| ·本文的研究目的及内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微压电振动能量采集器的工作原理 | 第24-38页 |
| ·压电效应 | 第24-25页 |
| ·压电材料 | 第25-28页 |
| ·压电材料的种类 | 第25-27页 |
| ·PZT 压电材料的制备 | 第27页 |
| ·压电材料的工作模式 | 第27-28页 |
| ·压电悬臂梁的理论分析 | 第28-36页 |
| ·压电悬臂梁的静态形变分析 | 第28-30页 |
| ·压电悬臂梁的动态形变分析 | 第30-33页 |
| ·压电悬臂梁的机电耦合分析 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 微压电振动能量采集器的有限元分析 | 第38-51页 |
| ·有限元法及ANSYS 软件介绍 | 第38-39页 |
| ·微压电振动能量采集器的有限元分析过程 | 第39-45页 |
| ·微压电悬臂梁的ANSYS 分析结果综合讨论 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 器件工艺制备研究 | 第51-66页 |
| ·微压电振动能量采集器的工艺流程 | 第51-53页 |
| ·PZT-SI 共晶键合工艺 | 第53-61页 |
| ·PZT 的加工工艺 | 第61-63页 |
| ·其他重要的加工工艺 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 微压电振动能量采集器的测试 | 第66-71页 |
| ·测试系统 | 第66-67页 |
| ·微压电振动能量采集器的性能测试 | 第67-69页 |
| ·提高微压电振动能量采集器性能的探讨 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间已录用或发表的论文 | 第80页 |
