新型电热微驱动器与双稳态机构的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| ·微机电系统概论 | 第12-16页 |
| ·微机电系统的发展 | 第13-15页 |
| ·微机电系统的应用 | 第15页 |
| ·微机电系统的未来 | 第15-16页 |
| ·驱动器 | 第16-28页 |
| ·静电型微驱动器 | 第16-18页 |
| ·电磁型微驱动器 | 第18-20页 |
| ·压电型微驱动器 | 第20-21页 |
| ·热膨胀型微驱动器 | 第21-26页 |
| ·各类MEMS 微驱动器性能比较 | 第26-28页 |
| ·双稳态结构 | 第28-32页 |
| ·机械锁定型柔顺双稳态机构 | 第28-29页 |
| ·磁致锁定型柔顺双稳态机构 | 第29-30页 |
| ·电热锁定型柔顺双稳态机构 | 第30-31页 |
| ·多物理场耦合锁定柔顺双稳态机构 | 第31-32页 |
| ·本课题研究的主要意义和内容 | 第32-34页 |
| ·研究意义 | 第32-33页 |
| ·研究内容 | 第33-34页 |
| 第二章 基于聚合物和氧化铝的面外运动电热微驱动器 | 第34-60页 |
| ·电热微驱动器的工作原理 | 第34-36页 |
| ·电热微驱动器结构材料的选择及结构仿真设计 | 第36-42页 |
| ·电热微驱动器结构材料的选择 | 第36-37页 |
| ·基于聚合物SU8 的电热微驱动器结构设计 | 第37-39页 |
| ·基于氧化铝的电热微驱动器结构设计 | 第39-42页 |
| ·电热微驱动器的工艺设计 | 第42-48页 |
| ·基于聚合物SU8 的电热微驱动器 | 第48-52页 |
| ·基于聚合物SU8 的电热微驱动器的制备 | 第48-50页 |
| ·基于聚合物SU8 的电热微驱动器的测试 | 第50-52页 |
| ·基于氧化铝的电热微驱动器 | 第52-59页 |
| ·基于氧化铝的电热微驱动器的制备 | 第52-57页 |
| ·氧化铝电热微驱动器的测试 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第三章 双稳态机构的研究 | 第60-82页 |
| ·双稳态工作原理 | 第60-61页 |
| ·双稳态结构设计 | 第61页 |
| ·双稳态理论计算及仿真分析 | 第61-75页 |
| ·磁路分析 | 第61-62页 |
| ·双稳态机构受力及仿真分析 | 第62-75页 |
| ·双稳态机构的试验制备 | 第75-76页 |
| ·双稳态机构的性能测试 | 第76-81页 |
| ·双稳态机构的原型器件 | 第76-78页 |
| ·静态特性表征 | 第78-80页 |
| ·动态特性表征 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第四章 热驱动器与双稳态机构联合作用 | 第82-86页 |
| ·热驱动器与双稳态机构联合作用原理 | 第82-83页 |
| ·集成器件制备工艺及成品 | 第83-84页 |
| ·电热驱动器与双稳态结构联合作用机构初步测试 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 总结和展望 | 第86-88页 |
| ·主要研究内容和结论 | 第86页 |
| ·主要创新点 | 第86-87页 |
| ·展望与下一步研究设想 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第92页 |
