CIGS薄膜太阳能电池的工艺研究与制造
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 太阳能电池的发展 | 第11-21页 |
| ·太阳能电池发展现状 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第12-16页 |
| ·硅基太阳能电池 | 第12-13页 |
| ·多元化合物薄膜太阳能电池 | 第13-14页 |
| ·有机薄膜太阳能电池 | 第14-15页 |
| ·纳米薄膜太阳能电池 | 第15-16页 |
| ·CIGS 太阳能电池的发展与现状 | 第16-18页 |
| ·本课题的主要研究内容与研究意义 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 CIGS 太阳能电池的结构与原理 | 第21-30页 |
| ·太阳能电池原理 | 第21-25页 |
| ·p-n 结 | 第21-22页 |
| ·光电效应 | 第22-23页 |
| ·太阳能电池特性参数 | 第23-24页 |
| ·太阳能电池等效电路 | 第24-25页 |
| ·CIGS 太阳能电池结构及工作原理 | 第25-29页 |
| 参考文献 | 第29-30页 |
| 第三章 CIGS 太阳能电池的工艺研究 | 第30-66页 |
| ·磁控溅射 | 第30-32页 |
| ·衬底的选择与清洗 | 第32-33页 |
| ·底电极Mo 的制备 | 第33-36页 |
| ·溅射功率对成膜速率及质量的影响 | 第33-34页 |
| ·溅射气压对薄膜质量及电阻率的影响 | 第34-35页 |
| ·薄膜的表面形貌和相结构 | 第35-36页 |
| ·Mo 电极制备方案 | 第36页 |
| ·吸收层CIGS 的制备 | 第36-44页 |
| ·CIGS 材料特性及其制备工艺 | 第36-38页 |
| ·成膜情况初析 | 第38-39页 |
| ·衬底温度与后退火对显微结构的影响 | 第39-42页 |
| ·溅射条件与退火对薄膜电阻率的影响 | 第42-43页 |
| ·CIGS 薄膜的光吸收特性 | 第43-44页 |
| ·缓冲层CdS 的制备 | 第44-52页 |
| ·CdS 材料特性 | 第44-45页 |
| ·CBD 法与RF 磁控溅射制备CdS | 第45-47页 |
| ·成膜情况初析 | 第47-48页 |
| ·工艺参数对显微形貌和相结构的影响 | 第48-51页 |
| ·CdS 薄膜的光透过性 | 第51-52页 |
| ·窗口层i-ZnO 与n-ZnO 的制备 | 第52-60页 |
| ·i-ZnO 与n-ZnO 的材料特性 | 第52-54页 |
| ·成膜情况初析 | 第54页 |
| ·工艺参数对显微形貌和相结构的影响 | 第54-57页 |
| ·溅射气压对ZAO 电阻率的影响 | 第57-58页 |
| ·ZnO 与ZAO 薄膜的光透过性分析 | 第58-60页 |
| ·上电极的制备 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 第四章 原型器件的制备及测试结果 | 第66-71页 |
| ·工艺整合中遇到的问题及解决办法 | 第66-67页 |
| ·器件制备工艺流程 | 第67-68页 |
| ·电池性能测试结果及分析 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 第五章 总结和展望 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第74-75页 |
| 附录 | 第75-77页 |
