基于SOI环形谐振腔的加速度传感器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·环形谐振腔国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·MOEMS 传感器国内外研究现状 | 第13-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 环形谐振腔加速度计工作原理和结构设计 | 第19-25页 |
| ·加速度计工作原理 | 第19-21页 |
| ·光弹效应 | 第19页 |
| ·倏逝波近场耦合原理 | 第19-20页 |
| ·力光耦合效应 | 第20-21页 |
| ·加速度计基本结构 | 第21-22页 |
| ·传感器灵敏度及噪声分析 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 环形谐振腔基本理论和光学仿真研究 | 第25-45页 |
| ·环形谐振腔耦合理论模型 | 第25-28页 |
| ·环形谐振腔主要性能指标 | 第28-31页 |
| ·谐振波长 | 第28页 |
| ·谐振频率Δf | 第28页 |
| ·自由频谱宽度 FSR | 第28-29页 |
| ·谐振峰半高全宽 Dn | 第29页 |
| ·精细度 F | 第29页 |
| ·品质因数 Q | 第29-31页 |
| ·环形谐振腔材料选择 | 第31-34页 |
| ·光波导结构设计 | 第34-35页 |
| ·环形谐振腔结构设计和数值模拟 | 第35-39页 |
| ·环形谐振腔耦合结构选择 | 第35-36页 |
| ·环形谐振腔FDTD 数值仿真 | 第36-39页 |
| ·环形谐振腔优化设计 | 第39-44页 |
| ·波导与谐振腔耦合间距仿真分析 | 第39-41页 |
| ·光波导宽度仿真分析 | 第41-42页 |
| ·环形谐振腔半径仿真分析 | 第42-43页 |
| ·优化结果 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 面向加速度计的悬臂梁结构设计 | 第45-53页 |
| ·悬臂梁式传感器力学特性研究 | 第45-48页 |
| ·悬臂梁结构的有限元分析 | 第48-52页 |
| ·静态分析 | 第48-50页 |
| ·模态分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 环形谐振腔的加工工艺和性能测试 | 第53-63页 |
| ·环形谐振腔版图设计 | 第53-54页 |
| ·环形谐振腔关键加工工艺 | 第54-56页 |
| ·高分辨率光刻技术 | 第54页 |
| ·电子束刻蚀 | 第54-55页 |
| ·聚焦离子束 | 第55页 |
| ·干法刻蚀 | 第55-56页 |
| ·环形谐振腔加工工艺流程 | 第56-58页 |
| ·环形谐振腔性能测试 | 第58-62页 |
| ·光纤对接耦合法实验平台搭建 | 第58-59页 |
| ·垂直耦合光栅方法实验平台搭建 | 第59-60页 |
| ·实验结果分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
