| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·微加热器制造技术现状 | 第8-9页 |
| ·直写技术的现状 | 第9-13页 |
| ·课题来源、目的，意义和技术方案 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 实验材料、设备和方法 | 第16-24页 |
| ·实验材料 | 第16-17页 |
| ·实验设备 | 第17-21页 |
| ·微加热器和传感器性能检测设备与方法 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 微型温度控制器的制造 | 第24-33页 |
| ·前言 | 第24页 |
| ·匀胶激光直写法制造微型温度控制器 | 第24-28页 |
| ·微笔直写法制造微型温度控制器 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 激光微熔覆制造微器件的性能测试 | 第33-43页 |
| ·前言 | 第33页 |
| ·匀胶激光直写法制造的微加热器和热敏传感器性能测试 | 第33-37页 |
| ·微笔法直写制造的微加热器和热敏传感器性能测试 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 微加热器制备机理研究 | 第43-52页 |
| ·前言 | 第43页 |
| ·厚膜电阻的烧结机理 | 第43-44页 |
| ·厚膜电阻导电机理 | 第44-46页 |
| ·微加热器通电发热机理 | 第46-47页 |
| ·微加热器微观形貌分析 | 第47-48页 |
| ·微加热器浆料热分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 6 微温度控制器外围电路设计 | 第52-58页 |
| ·前言 | 第52页 |
| ·电路系统原理与组成 | 第52-56页 |
| ·实现的功能 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 7 主要结论及建议 | 第58-60页 |
| ·主要结论 | 第58-59页 |
| ·今后工作的建议 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录1 作者在攻读硕士期间发表的论文目录 | 第65-66页 |
| 附录2 ICL7107 芯片资料 | 第66-67页 |