半导体生产线预防性维修周期的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究的背景与意义 | 第12-15页 |
| ·设备故障对生产的影响 | 第12-14页 |
| ·半导体生产线的特点 | 第14-15页 |
| ·预防性维修问题及其优越性和复杂性 | 第15-18页 |
| ·预防性维修及其优越性 | 第16-17页 |
| ·预防性维修问题研究的复杂性 | 第17-18页 |
| ·本文的内容安排 | 第18-20页 |
| 第2章 预防性维修理论 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20-25页 |
| ·设备故障特征 | 第21-23页 |
| ·维修管理理论的发展 | 第23-25页 |
| ·以可靠性为中心的维修(RCM) | 第25-28页 |
| ·RCM原则 | 第25-26页 |
| ·RCM分析的基本观点 | 第26页 |
| ·设备以可靠性为中心维修分析方法 | 第26-28页 |
| ·可靠性的基本概念、基本函数 | 第28-30页 |
| ·本章小节 | 第30-31页 |
| 第3章 预防性维修周期的研究 | 第31-43页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·确定预防性维修周期的方法 | 第32-36页 |
| ·以可用度最大为目标确定维修周期 | 第32页 |
| ·以任务期间的任务可靠性要求为目标确定修理周期 | 第32页 |
| ·以平均费用最低为目标确定维修周期 | 第32-36页 |
| ·典型的预防性维修策略 | 第36-39页 |
| ·生产设备定龄维修策略 | 第38页 |
| ·生产设备周期维修策略 | 第38页 |
| ·生产设备综合维修策略 | 第38-39页 |
| ·常见的故障累积分布函数 | 第39-42页 |
| ·指数分布 | 第39页 |
| ·正态分布 | 第39-40页 |
| ·伽玛分布 | 第40页 |
| ·对数分布 | 第40-41页 |
| ·威布尔分布 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 预防性维修理论在半导体生产线上的应用 | 第43-57页 |
| ·以平均费用最少为目标的预防性维修 | 第43-51页 |
| ·费用模型 | 第43-44页 |
| ·模型仿真 | 第44-47页 |
| ·生产设备定龄维修策略下的模型仿真 | 第44-45页 |
| ·生产设备周期维修策略下的模型仿真 | 第45-47页 |
| ·算例分析 | 第47-51页 |
| ·半导体生产线多台设备的预防性维修 | 第51-55页 |
| ·仿真思想 | 第51-54页 |
| ·两种维修策略下的仿真结果 | 第54-55页 |
| ·数据分析 | 第55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第5章 结论与展望 | 第57-60页 |
| ·全文内容总结 | 第57-58页 |
| ·进一步的研究与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 个人简历 在读期间发表的学术论文与研究成果 | 第64页 |
