光纤微传感器及其关键技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·光纤微传感器的关键技术 | 第10-14页 |
| ·光纤的刻蚀技术 | 第11-12页 |
| ·光纤表面金属化 | 第12-13页 |
| ·光纤微加工与光刻工艺 | 第13-14页 |
| ·本论文的研究目的与意义 | 第14页 |
| ·论文的结构 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 本章参考文献 | 第16-20页 |
| 第二章 光纤表面金属化的相关技术研究 | 第20-39页 |
| ·光纤表面的预处理 | 第20-22页 |
| ·光纤表面镀膜预处理工艺 | 第20-22页 |
| ·光纤表面的化学镀银 | 第22-28页 |
| ·化学镀膜特点 | 第22-23页 |
| ·光纤表面化学镀银 | 第23-28页 |
| ·光纤表面电化学镀银 | 第28-36页 |
| ·电化学镀膜概述 | 第28-29页 |
| ·镀膜的结晶过程 | 第29-30页 |
| ·电化学镀膜的影响因素 | 第30-31页 |
| ·电镀银溶液工艺 | 第31-33页 |
| ·光纤表面电镀银 | 第33-36页 |
| ·光纤表面真空热蒸发镀膜工艺 | 第36-37页 |
| ·光纤夹具的制作 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 本章参考文献 | 第38-39页 |
| 第三章 光纤表面图形化的关键技术 | 第39-50页 |
| ·MEMS工艺 | 第39-40页 |
| ·光刻工艺 | 第39-40页 |
| ·基于MEMS工艺的光纤表面图形化 | 第40-48页 |
| ·光刻掩模板的制作 | 第40-42页 |
| ·光纤夹具的制作 | 第42-44页 |
| ·光纤表面抗蚀层的制作工艺 | 第44-47页 |
| ·光纤表面图形化 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 本章参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 基于纳米银膜的法布里-泊罗光纤微传感器 | 第50-63页 |
| ·法布里-泊罗光纤传感器概述 | 第50页 |
| ·基于纳米银膜的法布里-泊罗光纤微传感器 | 第50-53页 |
| ·高反射纳米银膜的制作 | 第51页 |
| ·法布里-泊罗光纤微传感器的制作 | 第51-53页 |
| ·法布里-泊罗光纤微传感器传感特性 | 第53-56页 |
| ·纳米银膜音频响应特性研究 | 第56-60页 |
| ·相位载波法测量纳米银膜音频响应特性实验 | 第56-58页 |
| ·纳米银膜的杨氏模量 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |
| 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
