| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-36页 |
| ·LiNbO_3的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·LiNbO_3的性质及性能 | 第14-18页 |
| ·电光效应 | 第15-16页 |
| ·非线性光学效应 | 第16-17页 |
| ·压电效应 | 第17-18页 |
| ·LiNbO_3在光波导领域的应用 | 第18-21页 |
| ·光波导简介 | 第18-20页 |
| ·LiNbO_3光波导器件 | 第20-21页 |
| ·LiNbO_3薄膜的研究现状 | 第21-24页 |
| ·LiNbO_3薄膜的制备技术 | 第24-28页 |
| ·溅射法(sputtering) | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第26-27页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第27-28页 |
| ·本文的研究内容 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-36页 |
| 第三章 实验原理和实验过程 | 第36-48页 |
| ·脉冲激光沉积原理 | 第36-41页 |
| ·脉冲激光沉积概述 | 第36-37页 |
| ·PLD的基本原理 | 第37-41页 |
| ·PLD实验系统简介 | 第41-43页 |
| ·LiNbO_3薄膜的生长工艺 | 第43-46页 |
| ·LiNbO_3薄膜性能评价 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第四章 SiO_2／Si衬底上LiNbO_3薄膜的制备 | 第48-69页 |
| ·工艺参数对LiNbO_3薄膜质量的影响 | 第48-64页 |
| ·生长气氛 | 第48-49页 |
| ·衬底温度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第49-53页 |
| ·氧压对LiNbO_3薄膜的影响 | 第53-55页 |
| ·靶材与衬底的距离对LiNbO_3薄膜的影响 | 第55-57页 |
| ·激光能量密度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第57-58页 |
| ·激光重复频率对LiNbO_3薄膜的影响 | 第58-61页 |
| ·SiO_2的厚度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第61-64页 |
| ·工艺参数对晶粒的影响 | 第64-66页 |
| ·衬底温度对晶粒尺寸的影响 | 第64-65页 |
| ·激光频率对晶粒尺寸的影响 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第五章 LiNbO_3薄膜表面形貌及生长机制研究 | 第69-80页 |
| ·LiNbO_3薄膜的表面形貌 | 第69-72页 |
| ·衬底温度对薄膜表面粗糙度的影响 | 第69-71页 |
| ·激光重复频率对薄膜表面粗糙度的影响 | 第71-72页 |
| ·LiNbO_3薄膜的组成分析 | 第72-75页 |
| ·薄膜表面组分分析 | 第72-74页 |
| ·薄膜纵向组成分析 | 第74-75页 |
| ·LiNbO_3薄膜的生长机制 | 第75-77页 |
| ·小结 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-80页 |
| 第六章 LiNbO_3薄膜微结构及光学性能研究 | 第80-90页 |
| ·LiNbO_3薄膜的微结构分析 | 第80页 |
| ·LiNbO_3薄膜的光学性能 | 第80-88页 |
| ·测试原理 | 第83-84页 |
| ·衬底温度对LiNbO_3薄膜光学性能的影响 | 第84-86页 |
| ·氧压对LiNbO_3薄膜光学性能的影响 | 第86-88页 |
| ·小结 | 第88页 |
| 参考文献 | 第88-90页 |
| 第七章 Si(111)衬底上LiNbO_3薄膜的研究 | 第90-101页 |
| ·LiNbO_3薄膜的制备 | 第90-94页 |
| ·衬底温度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第90-91页 |
| ·氧压对LiNbO_3薄膜的影响 | 第91-93页 |
| ·激光频率对LiNbO_3薄膜的影响 | 第93页 |
| ·靶材与衬底的距离对LiNbO_3薄膜的影响 | 第93-94页 |
| ·LiNbO_3薄膜的形貌 | 第94-96页 |
| ·退火对薄膜质量的影响 | 第96-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-101页 |
| 第八章 ZnO／Si衬底上LiNbO_3薄膜的研究 | 第101-110页 |
| ·LiNbO_3薄膜的沉积 | 第101-105页 |
| ·缓冲层厚度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第101-102页 |
| ·衬底温度对LiNbO_3薄膜的影响 | 第102-103页 |
| ·氧压对LiNbO_3薄膜的影响 | 第103页 |
| ·靶材与衬底的距离对LiNbO_3薄膜的影响 | 第103-105页 |
| ·LiNbO_3薄膜的表面形貌 | 第105-107页 |
| ·薄膜的组分分析 | 第107页 |
| ·小结 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-110页 |
| 第九章 蓝宝石衬底上LiNbO_3薄膜的研究 | 第110-119页 |
| ·薄膜的晶体学分析 | 第110-112页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第112-114页 |
| ·薄膜的光学性能分析 | 第114-115页 |
| ·不同衬底上薄膜的晶体质量及表面形貌比较 | 第115-117页 |
| ·小结 | 第117页 |
| 参考文献 | 第117-119页 |
| 第十章 总结 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 附：在读期间发表和接收的论文 | 第122页 |
