用于声光波导相位调制的氧化锌薄膜和叉指换能器的理论和实验研究
| 第一章 绪论 | 第1-13页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第8-10页 |
| ·本课题概述 | 第10-11页 |
| ·本课题的研究目的和主要内容 | 第11页 |
| ·本课题主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 光电集成加速度传感器的工作原理 | 第13-21页 |
| ·概述 | 第13-14页 |
| ·介质光波导 | 第14页 |
| ·调制原理 | 第14-17页 |
| ·应力应变效应 | 第15-17页 |
| ·温度应变效应 | 第17页 |
| ·简谐振子工作原理 | 第17-18页 |
| ·干涉原理 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 声光波导相位调制的理论基础 | 第21-32页 |
| ·光波导相位调制的方法 | 第21-22页 |
| ·声光作用原理 | 第22-29页 |
| ·声表面波 | 第23-25页 |
| ·声光调制原理 | 第25-29页 |
| ·波导光的调制 | 第29-30页 |
| ·声光器件结构参数初选 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 氧化锌薄膜和叉指换能器的设计 | 第32-39页 |
| ·叉指换能器基本原理 | 第32-35页 |
| ·叉指换能器设计 | 第35-37页 |
| ·ZnO 薄膜设计 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 氧化锌薄膜和叉指换能器的制备工艺研究 | 第39-50页 |
| ·ZnO 薄膜的化学结构和物理常数 | 第39-41页 |
| ·ZnO 薄膜的生长技术 | 第41页 |
| ·ZnO 薄膜的的实验制备及性能参数 | 第41-47页 |
| ·衬底材料的准备 | 第41-42页 |
| ·磁控溅射沉积薄膜 | 第42-47页 |
| ·IDT 的实验制备及性能参数 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 器件制作结果及测试 | 第50-60页 |
| ·ZnO 薄膜的性能测试 | 第50-54页 |
| ·薄膜的微观结构 | 第50-51页 |
| ·膜厚精确测试 | 第51页 |
| ·薄膜的结晶状态 | 第51-53页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第53-54页 |
| ·ZnO 薄膜的择优取向性 | 第54-56页 |
| ·不同衬底温度的影响 | 第54-55页 |
| ·不同退火温度的影响 | 第55-56页 |
| ·IDT 的性能测试 | 第56-58页 |
| ·IDT 的微观结构 | 第57页 |
| ·IDT 的膜厚精确测试 | 第57-58页 |
| ·总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
