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VLSI三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-6页
目录第6-8页
第1章 引言第8-14页
   ·互连电容提取的背景和意义第8-9页
   ·互连电容提取的方法和进展第9-11页
   ·论文主要贡献和组织第11-14页
第2章 直接边界元法计算3-D电容第14-30页
   ·三维互连寄生电容计算模型第14-15页
   ·拉普拉斯(Laplace)方程及其边界条件第15-16页
   ·直接边界元法计算原理第16-19页
     ·直接边界积分方程第17页
     ·离散边界积分方程第17-18页
     ·求解线性方程组第18-19页
   ·层次式块边界元法原理~[40]第19-30页
     ·边界电容矩阵的概念和计算第19-21页
     ·导体变量凝聚第21-24页
     ·消除介质交界面的边界元变量第24-26页
     ·合并边界电容矩阵第26-27页
     ·层次式全耦合电容矩阵计算第27-30页
第3章 改进的三维层次式块边界元法第30-46页
   ·分层Multi-Half-Pitch计算第30-35页
     ·Multi-Half-Pitch的概念和计算第31-32页
     ·分层导体线宽统计第32-34页
     ·分层导体线间距统计第34-35页
   ·BEM子块的三维混合切割第35-43页
     ·BEM子块三维切割的基础第35-38页
     ·BEM子块的混合切割策略第38-42页
     ·BEM子块的层次式组织第42-43页
   ·BEM子块的非均匀边界元划分第43-46页
     ·切片法划分边界元第43-44页
     ·非均匀边界元划分的策略第44-46页
第4章 BEM子块计算的复用技术第46-49页
   ·背景第46页
   ·BEM子块计算中的复用技术第46-49页
     ·复用技术的原理第46-47页
     ·复用技术的实现第47-49页
第5章 改进的HBBEM系统流程及数值实验结果第49-55页
   ·HBBEM系统流程第49-51页
   ·综合数值实验结果与分析第51-55页
     ·来自文献[40]的算例第52-53页
     ·来自实际版图的算例第53-55页
第6章 总结与展望第55-57页
参考文献第57-61页
致谢第61页
声明第61-62页
本人简历第62页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第62页

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