微米级自动测量仪的设计
致谢 | 第1-6页 |
中文摘要 | 第6-7页 |
ABSTRACT | 第7-11页 |
1 绪论 | 第11-15页 |
·研究背景与意义 | 第11页 |
·国内外自动测量技术现状 | 第11-14页 |
·机器视觉测量技术 | 第12页 |
·自动式坐标测量技术 | 第12-14页 |
·课题研究的主要内容 | 第14-15页 |
2 测量系统原理 | 第15-22页 |
·测量系统原理 | 第15-16页 |
·位置检测元件 | 第16-20页 |
·位置检测元件要求 | 第16页 |
·位置检测元件的分类 | 第16-17页 |
·脉冲编码器 | 第17-20页 |
·直线光栅 | 第20页 |
·光电传感器原理 | 第20-22页 |
3 总体方案设计与关键件选型 | 第22-31页 |
·自动测量仪的总体方案设计 | 第22-23页 |
·测量系统选型 | 第23-27页 |
·光电传感器 | 第23-24页 |
·直线光栅 | 第24-25页 |
·伺服电机、减速器及编码器 | 第25-26页 |
·直线运动平台 | 第26-27页 |
·驱动系统选型 | 第27-29页 |
·电机驱动器 | 第27-28页 |
·LMD18200驱动芯片 | 第28-29页 |
·控制系统选型 | 第29-31页 |
4 机械结构设计 | 第31-41页 |
·机械结构的设计需求 | 第31页 |
·整体结构设计 | 第31-34页 |
·关键零部件设计 | 第34-40页 |
·底座 | 第34页 |
·主支架 | 第34-35页 |
·测量杆与套筒 | 第35-37页 |
·法兰 | 第37-38页 |
·光栅读数头托盘 | 第38-40页 |
·测量仪实物 | 第40-41页 |
5 电气控制系统设计 | 第41-56页 |
·电源系统设计 | 第41-42页 |
·控制系统设计 | 第42-48页 |
·CPU电路 | 第43-44页 |
·DAC输出电路 | 第44-46页 |
·编码器、光栅尺信号采集电路 | 第46-48页 |
·通讯电路 | 第48页 |
·地址分配电路 | 第48页 |
·驱动系统设计 | 第48-53页 |
·MAXON电机驱动器驱动系统 | 第49-51页 |
·LMD18200驱动电路 | 第51-53页 |
·人机接口设计 | 第53-54页 |
·按键输入电路 | 第53页 |
·液晶显示系统 | 第53-54页 |
·控制电路PCB板 | 第54-56页 |
6 软件系统设计 | 第56-70页 |
·编程工具介绍 | 第56-58页 |
·MPLAB集成开发环境(IDE) | 第56-57页 |
·MPLAB C30编译器 | 第57页 |
·MPLAB ICD 2 | 第57-58页 |
·软件系统整体设计 | 第58-60页 |
·电机控制程序设计 | 第60-66页 |
·电机控制框图 | 第60-61页 |
·电机位置和速度检测 | 第61-63页 |
·PID控制算法 | 第63页 |
·电机控制程序流程图 | 第63-66页 |
·光电传感器检测程序 | 第66-67页 |
·数据处理程序 | 第67-70页 |
·误差补偿算法 | 第67-68页 |
·误差补偿程序流程 | 第68页 |
·数据处理程序流程 | 第68-70页 |
7 实验结果与误差分析 | 第70-77页 |
·电机控制实验 | 第70-71页 |
·测量仪实验 | 第71-77页 |
·系统运行流程及分辨率 | 第71-72页 |
·数据处理 | 第72页 |
·实验结果 | 第72-74页 |
·误差分析 | 第74-76页 |
·改进方案 | 第76-77页 |
总结与展望 | 第77-78页 |
参考文献 | 第78-80页 |
作者简历 | 第80-82页 |
学位论文数据集 | 第82页 |