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微米级自动测量仪的设计

致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7-11页
1 绪论第11-15页
   ·研究背景与意义第11页
   ·国内外自动测量技术现状第11-14页
     ·机器视觉测量技术第12页
     ·自动式坐标测量技术第12-14页
   ·课题研究的主要内容第14-15页
2 测量系统原理第15-22页
   ·测量系统原理第15-16页
   ·位置检测元件第16-20页
     ·位置检测元件要求第16页
     ·位置检测元件的分类第16-17页
     ·脉冲编码器第17-20页
     ·直线光栅第20页
   ·光电传感器原理第20-22页
3 总体方案设计与关键件选型第22-31页
   ·自动测量仪的总体方案设计第22-23页
   ·测量系统选型第23-27页
     ·光电传感器第23-24页
     ·直线光栅第24-25页
     ·伺服电机、减速器及编码器第25-26页
     ·直线运动平台第26-27页
   ·驱动系统选型第27-29页
     ·电机驱动器第27-28页
     ·LMD18200驱动芯片第28-29页
   ·控制系统选型第29-31页
4 机械结构设计第31-41页
   ·机械结构的设计需求第31页
   ·整体结构设计第31-34页
   ·关键零部件设计第34-40页
     ·底座第34页
     ·主支架第34-35页
     ·测量杆与套筒第35-37页
     ·法兰第37-38页
     ·光栅读数头托盘第38-40页
   ·测量仪实物第40-41页
5 电气控制系统设计第41-56页
   ·电源系统设计第41-42页
   ·控制系统设计第42-48页
     ·CPU电路第43-44页
     ·DAC输出电路第44-46页
     ·编码器、光栅尺信号采集电路第46-48页
     ·通讯电路第48页
     ·地址分配电路第48页
   ·驱动系统设计第48-53页
     ·MAXON电机驱动器驱动系统第49-51页
     ·LMD18200驱动电路第51-53页
   ·人机接口设计第53-54页
     ·按键输入电路第53页
     ·液晶显示系统第53-54页
   ·控制电路PCB板第54-56页
6 软件系统设计第56-70页
   ·编程工具介绍第56-58页
     ·MPLAB集成开发环境(IDE)第56-57页
     ·MPLAB C30编译器第57页
     ·MPLAB ICD 2第57-58页
   ·软件系统整体设计第58-60页
   ·电机控制程序设计第60-66页
     ·电机控制框图第60-61页
     ·电机位置和速度检测第61-63页
     ·PID控制算法第63页
     ·电机控制程序流程图第63-66页
   ·光电传感器检测程序第66-67页
   ·数据处理程序第67-70页
     ·误差补偿算法第67-68页
     ·误差补偿程序流程第68页
     ·数据处理程序流程第68-70页
7 实验结果与误差分析第70-77页
   ·电机控制实验第70-71页
   ·测量仪实验第71-77页
     ·系统运行流程及分辨率第71-72页
     ·数据处理第72页
     ·实验结果第72-74页
     ·误差分析第74-76页
     ·改进方案第76-77页
总结与展望第77-78页
参考文献第78-80页
作者简历第80-82页
学位论文数据集第82页

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