| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题来源 | 第9-10页 |
| ·研究的目的及意义 | 第10页 |
| ·类金刚石薄膜与氮化碳薄膜简介 | 第10-16页 |
| ·类金刚石薄膜简介 | 第10-12页 |
| ·CN_x 膜简介 | 第12-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 DLC/CN_x 复合膜的制备与表征 | 第17-24页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜的制备 | 第17-20页 |
| ·过滤阴极真空弧简介 | 第17-18页 |
| ·电子回旋共振简介 | 第18页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜的制备 | 第18-20页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜的表征 | 第20-23页 |
| ·X 射线光电子能谱仪 | 第20页 |
| ·拉曼光谱仪 | 第20-21页 |
| ·俄歇电子能谱仪 | 第21页 |
| ·椭偏仪 | 第21-22页 |
| ·原子力显微镜 | 第22页 |
| ·接触角测量仪 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 DLC/CN_x 复合膜的成分与结构分析 | 第24-55页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜成分分析 | 第24-26页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜深度分析 | 第26-30页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜物理结构的拉曼光谱分析 | 第30-47页 |
| ·可见光拉曼 | 第31-42页 |
| ·Gaussian-Lorentzian 分析 | 第34-38页 |
| ·BWF 分析 | 第38-42页 |
| ·紫外光拉曼 | 第42-47页 |
| ·DLC/CN_x 复合膜化学结构的XPS 分析 | 第47-53页 |
| ·DLC/CN_x复合膜C1s谱分析 | 第49-51页 |
| ·DLC/CN_x复合膜N1s谱分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 DLC/CN_x 复合膜的表面状态与性能分析 | 第55-68页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·表面形貌 | 第55-58页 |
| ·吸附性能 | 第58-61页 |
| ·光学性能 | 第61-63页 |
| ·抗腐蚀性能 | 第63-65页 |
| ·摩擦学性能 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75页 |