硅基压阻式数字压力传感器的研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章 绪论	第10-15页
·硅基压阻式压力传感器研究现状	第10-12页
·课题的提出	第12-13页
·本文研究内容	第13-15页
第二章 扩散硅压力传感器的基本理论	第15-23页
·压力传感器的基本原理	第15-18页
·p型硅的压阻效应	第18-20页
·压力传感器的温漂问题	第20-22页
·本章小结	第22-23页
第三章 扩散硅压力传感器的设计与制作	第23-36页
·硅压力传感器芯片的设计	第23-29页
·膜片尺寸设计	第23-27页
·掺杂浓度的确定	第27-29页
·硅压力传感器的制作	第29-32页
·硅压力传感器测试结果	第32-35页
·本章小结	第35-36页
第四章 压力传感器信号的数字化研究	第36-46页
·压力传感器信号温漂的补偿原理	第36-38页
·信号温漂硬件补偿原理	第36-37页
·信号温漂软补偿原理	第37-38页
·信号补偿与数字化电路设计	第38-43页
·单片机的选型	第39-40页
·恒流源电路设计	第40页
·信号转换电路设计	第40-41页
·测温电路设计	第41-42页
·发送电路设计	第42-43页
·软件设计	第43-44页
·硬件电路初始化	第44-45页
·本章小结	第45-46页
第五章 数字式压力传感器测试与分析	第46-53页
·压力传感器的测试	第46-50页
·测试结果分析	第50-52页
·本章小结	第52-53页
第六章 结论	第53-54页
参考文献	第54-56页
在学研究成果	第56-57页
致谢	第57页