基于复合振动的粘着控制微操作技术及其实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| ·课题的背景及其意义 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-31页 |
| ·微操作机器人系统研究现状 | 第16-19页 |
| ·微操作粘着力研究现状 | 第19-21页 |
| ·微尺度对象操作方法研究现状 | 第21-25页 |
| ·微操作工具研究现状 | 第25-28页 |
| ·基于体硅工艺的微夹持器研究现状 | 第28-31页 |
| ·课题来源和本文主要研究内容 | 第31-33页 |
| ·课题来源 | 第31页 |
| ·本文主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 基于粘着控制的微操作机理与方法 | 第33-56页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·微操作粘着机理分析 | 第33-44页 |
| ·微尺度下的粘着效应 | 第33-36页 |
| ·微观粘着力建模 | 第36-40页 |
| ·微尺度粘着弹性接触理论 | 第40-44页 |
| ·基于粘着控制的微操作方法 | 第44-52页 |
| ·粘着控制微操作分析 | 第44-46页 |
| ·基于粘着控制的微操作建模 | 第46-52页 |
| ·微操作仿真分析 | 第52-55页 |
| ·拾取仿真 | 第52-54页 |
| ·释放仿真 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第3章 MEMS微操作工具研究 | 第56-78页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·微操作工具的总体设计 | 第56-57页 |
| ·静电驱动器的设计分析 | 第57-61页 |
| ·静电驱动机理 | 第57-59页 |
| ·梳齿驱动稳定性分析 | 第59-61页 |
| ·静电梳齿设计 | 第61页 |
| ·柔性支撑梁及力检测梁的设计分析 | 第61-71页 |
| ·柔性支撑梁结构设计 | 第61-65页 |
| ·微夹持器放大机构设计 | 第65-66页 |
| ·力检测梁设计 | 第66-69页 |
| ·微操作工具有限元分析 | 第69-71页 |
| ·微夹持器工艺设计与研制的样品 | 第71-77页 |
| ·微夹持器制作工艺 | 第71-75页 |
| ·侧壁压阻工艺 | 第75-76页 |
| ·微夹持器样品 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 微夹持器驱动及动态操作控制研究 | 第78-94页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·微夹持器控制系统 | 第78-79页 |
| ·微夹持器驱动电源设计 | 第79-88页 |
| ·静电驱动电源设计 | 第79-82页 |
| ·静电驱动振动特性设计 | 第82-84页 |
| ·静电驱动控制系统性能测试 | 第84-85页 |
| ·力检测电路设计 | 第85-88页 |
| ·微驱动平台设计与控制 | 第88-90页 |
| ·微动平台设计及陶瓷选择 | 第88-89页 |
| ·振动控制分析 | 第89-90页 |
| ·微操作粘着控制策略 | 第90-93页 |
| ·夹持力闭环控制方法 | 第90-91页 |
| ·动态拾取控制过程 | 第91-92页 |
| ·动态释放控制过程 | 第92-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 粘着控制微操作实验研究 | 第94-115页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·实验系统设计 | 第94-96页 |
| ·实验目的 | 第94-95页 |
| ·实验系统组成 | 第95-96页 |
| ·微夹持器性能测试及夹持实验 | 第96-100页 |
| ·张合量测试 | 第96-97页 |
| ·力传感器标定 | 第97-98页 |
| ·开环夹持实验 | 第98-99页 |
| ·微力控制 | 第99-100页 |
| ·动态粘着控制拾取实验 | 第100-107页 |
| ·微夹持器末端梁疏水封闭处理 | 第100-102页 |
| ·潮湿环境下的拾取实验 | 第102-105页 |
| ·削弱静电力影响下的拾取实验 | 第105-107页 |
| ·粘着控制的释放实验 | 第107-114页 |
| ·单向振动释放实验 | 第107-109页 |
| ·复合振动释放实验 | 第109-110页 |
| ·释放区域控制 | 第110-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 结论 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-125页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第125-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 个人简历 | 第129页 |
