微细电解铣削加工技术的基础研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| ·微细加工技术的研究状况 | 第16-22页 |
| ·LIGA 与准LIGA 技术 | 第17-18页 |
| ·激光微细加工技术 | 第18-19页 |
| ·微机械切削加工技术 | 第19-20页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第20-21页 |
| ·电解复合加工技术 | 第21-22页 |
| ·微细电化学加工技术的研究与发展 | 第22-27页 |
| ·微细电铸技术 | 第22页 |
| ·掩模微细电解加工技术 | 第22-23页 |
| ·电液流微细电解加工技术 | 第23-24页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第24-25页 |
| ·超短脉冲微细电解加工技术 | 第25-27页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第27-28页 |
| ·本文主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 微细电解铣削加工基本理论与模型 | 第29-44页 |
| ·电解加工原理与特点 | 第29-30页 |
| ·微细电解铣削加工的特点 | 第30-31页 |
| ·纳秒脉冲微细电解加工机理 | 第31-37页 |
| ·电极过程特征分析 | 第31-32页 |
| ·电极/溶液界面结构 | 第32-36页 |
| ·纳秒脉冲电流高定域性加工机理 | 第36-37页 |
| ·微细电解铣削加工分步控制模型 | 第37-42页 |
| ·竖直进给加工阶段 | 第38-40页 |
| ·平面铣削加工阶段 | 第40-42页 |
| ·影响加工性能的因素分析 | 第42-43页 |
| ·影响加工精度的因素分析 | 第42页 |
| ·影响加工稳定性的因素分析 | 第42-43页 |
| ·影响加工表面质量的因素分析 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 三维微细电解铣削加工系统 | 第44-74页 |
| ·微细电解铣削加工系统的要求 | 第44-45页 |
| ·加工系统的总体设计 | 第45-48页 |
| ·系统方案的确定 | 第45-47页 |
| ·加工机床的布局设计 | 第47-48页 |
| ·运动平台 | 第48-49页 |
| ·高速主轴—电极系统 | 第49-51页 |
| ·加工对刀电路与方法 | 第51-52页 |
| ·电解液循环系统 | 第52-53页 |
| ·加工控制与检测系统 | 第53-73页 |
| ·加工控制与检测系统总体设计 | 第53-54页 |
| ·加工控制与检测系统硬件构成 | 第54-58页 |
| ·加工轨迹生成及优化策略 | 第58-61页 |
| ·加工轨迹伺服进给算法 | 第61-64页 |
| ·信号检测及反馈控制算法 | 第64-67页 |
| ·机床运动响应补偿算法 | 第67页 |
| ·加工控制与检测系统软件开发 | 第67-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第四章 微细电解铣削加工工具电极的制备 | 第74-104页 |
| ·微细电极的电化学刻蚀加工机理 | 第74-77页 |
| ·多阶柱状微电极的电化学制备 | 第77-90页 |
| ·多阶柱状微电极尺寸控制建模 | 第78-84页 |
| ·多阶柱状微电极加工试验与分析 | 第84-87页 |
| ·多阶柱状微电极的端面修整 | 第87-89页 |
| ·部分试验样件照片 | 第89-90页 |
| ·微球头电极的单脉冲放电制备 | 第90-98页 |
| ·微细柱状球头电极加工原理 | 第90-92页 |
| ·微细柱状球头电极加工试验与分析 | 第92-97页 |
| ·部分试验样件照片 | 第97-98页 |
| ·微电极在微细电解加工中的应用分析 | 第98-102页 |
| ·微电极电场分析 | 第98-101页 |
| ·微电极应用试验 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 第五章 微细电解铣削加工工艺试验研究 | 第104-132页 |
| ·微细电解铣削加工间隙流场特性分析 | 第104-109页 |
| ·微流场模型方程及边界设定 | 第104-108页 |
| ·微流场仿真结果与分析 | 第108-109页 |
| ·工艺参数对加工结果的影响 | 第109-127页 |
| ·电参数对加工结果的影响 | 第110-116页 |
| ·电极参数对加工结果的影响 | 第116-118页 |
| ·电解液参数对加工结果的影响 | 第118-122页 |
| ·铣削层厚度对加工结果的影响 | 第122-125页 |
| ·进给速度对加工结果的影响 | 第125-126页 |
| ·不同工件材料上的加工试验 | 第126-127页 |
| ·典型微细结构的微细电解铣削加工试验 | 第127-131页 |
| ·2D 结构的微细电解铣削加工试验 | 第128-129页 |
| ·3D 结构的微细电解铣削加工试验 | 第129-131页 |
| ·本章小结 | 第131-132页 |
| 第六章 旋转电极的微细电解铣削加工试验研究 | 第132-143页 |
| ·小间隙内流场建模及分析 | 第132-136页 |
| ·间隙流场模型方程及边界条件 | 第133-135页 |
| ·加工间隙内流场分析 | 第135-136页 |
| ·工艺参数对加工结果的影响 | 第136-141页 |
| ·脉冲宽度对加工结果的影响 | 第136-138页 |
| ·电极转速对加工结果的影响 | 第138-139页 |
| ·电解液浓度对加工结果的影响 | 第139-140页 |
| ·进给速度对加工结果的影响 | 第140-141页 |
| ·典型微小结构的微细电解铣削加工试验 | 第141页 |
| ·本章小结 | 第141-143页 |
| 第七章 总结与展望 | 第143-145页 |
| ·论文研究工作总结 | 第143-144页 |
| ·对未来工作的展望 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第153页 |
