| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-29页 |
| ·微细加工技术的研究与发展 | 第17-20页 |
| ·激光微细加工技术 | 第17-18页 |
| ·LIGA 与准LIGA 技术 | 第18-19页 |
| ·微细切削加工技术 | 第19页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第19-20页 |
| ·微细电化学加工技术的研究与发展 | 第20-25页 |
| ·微细电铸技术 | 第20-22页 |
| ·掩模微细电解加工技术 | 第22-23页 |
| ·电液束微细电解加工技术 | 第23页 |
| ·纳秒脉冲微细电解加工技术 | 第23-25页 |
| ·微细电解线切割的研究和发展 | 第25-27页 |
| ·课题来源、研究意义以及本文主要研究内容 | 第27-29页 |
| ·课题来源和研究的目的及意义 | 第27-28页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 微细电解线切割机理与强化传质方案 | 第29-36页 |
| ·微细电解线切割加工的原理和特点 | 第29-30页 |
| ·微细电解线切割加工定域蚀除特性分析 | 第30-33页 |
| ·微细电解线切割强化传质方案 | 第33-35页 |
| ·线电极叠加轴向微幅振动强化传质方案 | 第33-34页 |
| ·线电极轴向低速冲液强化传质方案 | 第34-35页 |
| ·环形线电极单向走丝强化传质方案 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 微细电解线切割试验系统 | 第36-47页 |
| ·加工系统总体布局设计 | 第36-37页 |
| ·进给系统 | 第37-38页 |
| ·压电陶瓷振动系统 | 第38页 |
| ·线电极系统及线电极张紧 | 第38-41页 |
| ·电解液循环系统 | 第41-42页 |
| ·超短脉宽电源 | 第42页 |
| ·线电极对刀 | 第42-44页 |
| ·微细电解线切割加工控制与检测系统 | 第44-46页 |
| ·加工控制与检测系统硬件构成 | 第44-45页 |
| ·轨迹控制优化 | 第45-46页 |
| ·控制系统软件设计 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 轴向微幅振动微细电解线切割工艺试验研究 | 第47-73页 |
| ·线电极轴向微幅振动间隙流场特性分析 | 第47-49页 |
| ·线电极轴向微幅振动加工间隙模型 | 第49-50页 |
| ·线电极微幅振动波形选择 | 第50-51页 |
| ·微尺度线电极在线制作 | 第51-55页 |
| ·线电极直径对加工精度影响的理论分析 | 第51-53页 |
| ·原理与装置 | 第53页 |
| ·均匀腐蚀策略 | 第53-54页 |
| ·线电极在线制作试验及分析 | 第54-55页 |
| ·振动对线电极制作的影响 | 第54-55页 |
| ·脉冲电流对线电极制作的影响 | 第55页 |
| ·微幅振动微细电解线切割加工试验 | 第55-68页 |
| ·微幅振动对加工稳定性的影响 | 第55-57页 |
| ·微幅振动对加工精度的影响 | 第57-58页 |
| ·微幅振动对加工效率的影响 | 第58-60页 |
| ·微幅振动对加工电压—缝宽曲线的影响 | 第60-61页 |
| ·微幅振动对脉冲宽度—缝宽曲线的影响 | 第61-63页 |
| ·微幅振动对脉冲周期—缝宽曲线的影响 | 第63-64页 |
| ·电解液对加工的影响 | 第64-65页 |
| ·线电极直径对加工的影响 | 第65-66页 |
| ·微幅振动对不同工件材料加工稳定性的影响 | 第66-67页 |
| ·工件材料对加工精度的影响 | 第67-68页 |
| ·微细结构的微幅振动电解线切割加工试验 | 第68-71页 |
| ·不锈钢材料微细结构 | 第68-69页 |
| ·高温合金材料微细结构 | 第69页 |
| ·镍材料微细结构 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 轴向冲液微细电解线切割工艺试验研究 | 第73-91页 |
| ·轴向冲液微细电解线切割研究的必要性 | 第73页 |
| ·轴向冲液微细电解线切割加工间隙流场模型分析 | 第73-75页 |
| ·引流道中线电极支撑板对流场的影响 | 第75-78页 |
| ·牺牲阳极对切缝出口处流场的影响 | 第78页 |
| ·直流轴向冲液微细电解线切割加工工艺试验研究 | 第78-88页 |
| ·冲液方向对加工稳定性的影响 | 第78-79页 |
| ·轴向冲液速度对加工稳定性的影响 | 第79-80页 |
| ·轴向冲液速度对加工效率的影响 | 第80页 |
| ·电压对加工精度的影响 | 第80-82页 |
| ·电极丝进给速度对加工的影响 | 第82-83页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第83-84页 |
| ·牺牲阳极板对出液面切缝质量的影响 | 第84-86页 |
| ·不同工件厚度对加工的影响 | 第86-87页 |
| ·初始间隙对切缝入口质量的影响 | 第87-88页 |
| ·典型结构加工 | 第88-89页 |
| ·脉冲电流轴向冲液微细电解线切割试验 | 第89-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第六章 环形线电极单向走丝电解线切割工艺试验研究 | 第91-112页 |
| ·环形线电极单向走丝电解线切割研究的必要性 | 第91页 |
| ·环形线电极单向走丝电解线切割的加工间隙流场分析 | 第91-95页 |
| ·加工间隙流场数学模型 | 第91-93页 |
| ·加工间隙流场仿真 | 第93-95页 |
| ·辅助阳极单向走丝电解线切割电场分析 | 第95-97页 |
| ·电场理论模型 | 第95-96页 |
| ·仿真分析结果及讨论 | 第96-97页 |
| ·电极丝的振动分析 | 第97-99页 |
| ·断丝原因及解决措施 | 第99-100页 |
| ·单向走丝电解线切割试验设备 | 第100-104页 |
| ·环形线电极的制备 | 第100-101页 |
| ·走丝机构的设计 | 第101-102页 |
| ·试验系统 | 第102-104页 |
| ·工艺参数对试验结果的影响 | 第104-110页 |
| ·单向走丝对加工锥度的影响 | 第104页 |
| ·走丝速度对加工的影响 | 第104-105页 |
| ·进给速度对加工的影响 | 第105-107页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第107-108页 |
| ·工件厚度对加工的影响 | 第108-109页 |
| ·辅助阳极对加工的影响 | 第109-110页 |
| ·典型零件加工 | 第110-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第七章 微细电解线切割在某加速度传感器弹性敏感元件中的应用 | 第112-133页 |
| ·弹性敏感元件结构及其材料特性 | 第112-114页 |
| ·弹性敏感元件结构及加工要求 | 第112-113页 |
| ·材料成份对电解加工的影响分析 | 第113-114页 |
| ·凹槽底部直角加工模型 | 第114-115页 |
| ·弹性敏感元件加工工艺过程 | 第115-120页 |
| ·加工工艺流程 | 第115-116页 |
| ·材料预处理 | 第116-117页 |
| ·零件轮廓切割 | 第117-118页 |
| ·凹槽定位与找正 | 第118-120页 |
| ·弹性敏感元件加工工艺试验 | 第120-126页 |
| ·合金材料对加工的影响 | 第120-121页 |
| ·线电极微幅振动参数选择与加工间隙的关系 | 第121-122页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第122-123页 |
| ·进给速度和进给步距对加工的影响 | 第123-125页 |
| ·电参数对加工的影响 | 第125-126页 |
| ·轮廓加工试验 | 第126-128页 |
| ·凹槽及完整零件加工试验 | 第128-131页 |
| ·本章小结 | 第131-133页 |
| 第八章 总结与展望 | 第133-135页 |
| ·本论文工作总结 | 第133-134页 |
| ·对未来工作展望 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第145-146页 |