气体静压支承下线性直驱平台的振动抑制技术研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第13-36页 |
| 1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第15-30页 |
| 1.4 问题的提出与研究技术路线 | 第30-33页 |
| 1.5 本文研究内容及组织结构 | 第33-36页 |
| 2 气浮直驱平台的机电耦合振动分析及模型构建 | 第36-59页 |
| 2.1 引言 | 第36-37页 |
| 2.2 气浮直驱平台的振动因素分析 | 第37-46页 |
| 2.3 机电耦合动力学分析及模型构建 | 第46-52页 |
| 2.4 机电耦合振动特性仿真 | 第52-57页 |
| 2.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 3 基于直线电机阻尼的振动抑制策略 | 第59-72页 |
| 3.1 引言 | 第59页 |
| 3.2 基于阻尼提升的振动抑制策略 | 第59-62页 |
| 3.3 直线电机阻尼器原理及阻尼力计算 | 第62-66页 |
| 3.4 动力学特性分析 | 第66-68页 |
| 3.5 直线电机阻尼器的振动抑制性能仿真 | 第68-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 4 基于抗干扰的电子阻尼提升振动抑制算法 | 第72-94页 |
| 4.1 引言 | 第72页 |
| 4.2 基于抗干扰的电子阻尼提升振动抑制策略 | 第72-73页 |
| 4.3 气浮直接驱动平台的干扰模型 | 第73-75页 |
| 4.4 控制器设计 | 第75-82页 |
| 4.5 FFPDL控制算法仿真与分析 | 第82-92页 |
| 4.6 本章小结 | 第92-94页 |
| 5 气浮直驱实验平台的构建及性能测试 | 第94-120页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 气浮直驱平台实验平台的构建 | 第94-101页 |
| 5.3 平台性能测试与分析 | 第101-118页 |
| 5.4 本章小结 | 第118-120页 |
| 6 振动抑制实验验证及分析 | 第120-141页 |
| 6.1 引言 | 第120页 |
| 6.2 控制参数优化与分析 | 第120-121页 |
| 6.3 稳态性能试验与分析 | 第121-126页 |
| 6.4 动态响应实验与分析 | 第126-130页 |
| 6.5 振动抑制实验验证与分析 | 第130-139页 |
| 6.6 本章小结 | 第139-141页 |
| 7 振动抑制技术在KDP晶体侧棱切削机床中的应用 | 第141-151页 |
| 7.1 引言 | 第141-142页 |
| 7.2 KDP晶体侧棱切削机床介绍 | 第142-143页 |
| 7.3 算法优化后对振动性能的影响 | 第143-145页 |
| 7.4 算法优化后对低速稳定性的影响 | 第145-146页 |
| 7.5 算法优化后对KDP晶体粗糙度的影响 | 第146-149页 |
| 7.6 本章小结 | 第149-151页 |
| 8 全文总结与展望 | 第151-155页 |
| 8.1 论文工作总结 | 第151-153页 |
| 8.2 论文创新点 | 第153-154页 |
| 8.3 研究展望 | 第154-155页 |
| 致谢 | 第155-157页 |
| 参考文献 | 第157-168页 |
| 附录 A 攻读博士学位期间发表论文及专利情况 | 第168-169页 |
