| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 团簇 | 第9页 |
| 1.2 研究团簇的意义 | 第9-10页 |
| 1.3 团簇的形成机制 | 第10-14页 |
| 1.4 团簇的产生方法 | 第14-17页 |
| 1.4.1 泻流气体凝聚团簇源 | 第14-15页 |
| 1.4.2 超声喷嘴团簇源 | 第15页 |
| 1.4.3 激光蒸发团簇源 | 第15-16页 |
| 1.4.4 磁控溅射团簇源 | 第16-17页 |
| 1.5 超声喷嘴 | 第17-18页 |
| 1.6 空气动力学透镜 | 第18-19页 |
| 1.7 本论文主要工作 | 第19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 计算流体动力学(CFD) | 第23-31页 |
| 2.1 CFD概况 | 第23页 |
| 2.2 CFD模型及方法 | 第23-29页 |
| 2.2.1 层流(单相) | 第24-26页 |
| 2.2.2 在层流中利用欧拉-拉格朗日方法跟踪粒子 | 第26-29页 |
| 参考文献 | 第29-31页 |
| 第三章 德国弗莱堡大学磁控溅射团簇源及其不足 | 第31-36页 |
| 3.1 德国弗莱堡大学磁控溅射团簇源简介 | 第31-34页 |
| 3.1.1 磁控溅射管的放电过程 | 第32-33页 |
| 3.1.2 磁控溅射团簇源冷凝腔中团簇的形成的过程 | 第33-34页 |
| 3.2 磁控溅射团簇源存在的不足及原因分析 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第四章 工作气体入射气流方向对团簇轨迹的影响 | 第36-46页 |
| 4.1 磁控溅射管 | 第36-37页 |
| 4.2 几何模型和参数 | 第37-38页 |
| 4.3 磁控溅射团簇源模型的网格划分和边界条件设置 | 第38-40页 |
| 4.4 模拟结果及讨论 | 第40-44页 |
| 4.5 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第五章 团簇源中冷凝腔的涡流对团簇轨迹的影响 | 第46-66页 |
| 5.1 冷凝腔中团簇的形成和生长过程 | 第46-47页 |
| 5.2 几何模型和参数 | 第47-48页 |
| 5.3 磁控溅射团簇源模型的网格划分和边界条件设置 | 第48-51页 |
| 5.4 冷凝腔中团簇粒子的轨迹 | 第51-57页 |
| 5.5 缓冲区在冷凝腔中的作用 | 第57-63页 |
| 5.6 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第六章 磁控溅射团簇源中喷嘴的结构对团簇轨迹的影响 | 第66-82页 |
| 6.1 几何模型和参数 | 第67页 |
| 6.2 喷嘴模型的网格划分和边界条件设置 | 第67-70页 |
| 6.3 模拟结果及讨论 | 第70-79页 |
| 6.3.1 气体流场的动力学特征 | 第70-72页 |
| 6.3.2 不同喷嘴系统之间的对比 | 第72-79页 |
| 6.4 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 第七章 聚焦直径小于10-nm纳米颗粒的空气动力学透镜的设计和评估 | 第82-98页 |
| 7.1 空气动力学透镜的设计 | 第83-85页 |
| 7.2 空气动力学透镜模型的网格划分和边界条件设置 | 第85-86页 |
| 7.3 模拟结果及讨论 | 第86-94页 |
| 7.3.1 空气动力学透镜中的气体动力学特征 | 第86-91页 |
| 7.3.2 不同空气动力学透镜的聚焦之比 | 第91-94页 |
| 7.4 结论 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-98页 |
| 第八章 结论及展望 | 第98-100页 |
| 8.1 论文总结 | 第98-99页 |
| 8.2 论文创新点 | 第99页 |
| 8.3 论文展望 | 第99-100页 |
| 附录 | 第100-104页 |
| 在学期间的研究成果 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
