| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第17-32页 |
| 1.1 微机械研究的背景 | 第17-19页 |
| 1.2 金刚石微机械零件主要制备方法 | 第19-25页 |
| 1.2.1 金刚石的反应离子刻蚀 | 第19-21页 |
| 1.2.2 金刚石的激光刻蚀 | 第21-22页 |
| 1.2.3 金刚石的选择性生长 | 第22-24页 |
| 1.2.4 复印法制备金刚石 | 第24-25页 |
| 1.3 金刚石沉积衬底硅材料的微细加工 | 第25-30页 |
| 1.3.1 精密微机械加工技术 | 第26-27页 |
| 1.3.2 体硅微制造 | 第27-30页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第30-32页 |
| 第二章 金刚石微零件沉积用硅模制备机理研究 | 第32-49页 |
| 2.1 引言 | 第32-33页 |
| 2.2 ICP刻蚀加工工艺 | 第33-37页 |
| 2.2.1 ICP刻蚀机理 | 第33-35页 |
| 2.2.2 硅模具设计 | 第35-36页 |
| 2.2.3 实验方案与工艺参数 | 第36-37页 |
| 2.3 硅微模具的制备机理 | 第37-40页 |
| 2.4 硅微孔阵列的制造误差分析 | 第40-45页 |
| 2.4.1 测量误差的分析 | 第40-41页 |
| 2.4.2 微孔阵列的制造误差分析 | 第41-45页 |
| 2.5 硅微十字槽阵列制造误差分析 | 第45-47页 |
| 2.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 金刚石微零件制备基础研究 | 第49-65页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 实验方案与工艺参数 | 第49-52页 |
| 3.3 微圆柱、微十字阵列金刚石充型能力分析 | 第52-59页 |
| 3.3.1 微圆柱、微十字阵列微观形貌分析 | 第52-54页 |
| 3.3.2 微槽阵列金刚石充填能力 | 第54-56页 |
| 3.3.3 金刚石表征、分析及形成机理 | 第56-59页 |
| 3.4 金刚石微圆柱、微十字阵列尺寸一致性分析 | 第59-63页 |
| 3.4.1 金刚石微圆柱阵列的尺寸分散性分析 | 第59-61页 |
| 3.4.2 金刚石微十字阵列的尺寸一致性 | 第61-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 金刚石微梁的制备机理研究 | 第65-79页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 实验方案与工艺路线 | 第66-67页 |
| 4.3 金刚石微梁表征与沉积机理分析 | 第67-71页 |
| 4.3.1 硅微槽的微观形貌表征 | 第67-69页 |
| 4.3.2 金刚石微梁的微观形貌 | 第69-70页 |
| 4.3.3 金刚石微梁的Raman表征 | 第70-71页 |
| 4.4 金刚石微梁的残余应力分析 | 第71-74页 |
| 4.5 金刚石微梁的尺寸分析 | 第74-78页 |
| 4.5.1 金刚石微梁的尺寸分散性分析 | 第75-77页 |
| 4.5.2 硅微槽的制造误差 | 第77页 |
| 4.5.3 金刚石微梁与硅模的尺寸一致性 | 第77页 |
| 4.5.4 沉积中的硅模、金刚石热膨胀 | 第77-78页 |
| 4.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 金刚石微齿轮的制备研究 | 第79-108页 |
| 5.1 引言 | 第79-81页 |
| 5.2 实验方案与工艺参数 | 第81-85页 |
| 5.3 单个硅微齿轮与金刚石微齿轮的制备与表征 | 第85-97页 |
| 5.3.1 硅微齿轮制造误差分析 | 第85-88页 |
| 5.3.2 单个金刚石微齿轮尺寸分析 | 第88-92页 |
| 5.3.3 单个金刚石微齿轮性能表征 | 第92-94页 |
| 5.3.4 纳米晶粒金刚石微齿轮结构表征 | 第94-97页 |
| 5.3.5 单个金刚石微齿轮的残余应力分析 | 第97页 |
| 5.4 双联金刚石齿轮的制备 | 第97-106页 |
| 5.4.1 双联硅齿轮模具的制备 | 第97-102页 |
| 5.4.2 双联金刚石齿轮的制备与表征 | 第102-104页 |
| 5.4.3 双联金刚石齿轮的尺寸一致性分析 | 第104-106页 |
| 5.5 本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 总结与展望 | 第108-110页 |
| 6.1 论文研究内容总结 | 第108-109页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第109页 |
| 6.3 未来研究展望 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 在学期间发表学术论文及研究成果 | 第123-125页 |
| 攻读博士学位期间发表论文情况 | 第123页 |
| 授权发明专利 | 第123页 |
| 攻读博士学位期间参加科研项目情况 | 第123-125页 |
| 附录 | 第125-135页 |
| 附录1 ,硅微十字槽测量尺寸 | 第125-129页 |
| 附表1.1 硅微十字槽阵列水平方向宽度测量值 | 第125-126页 |
| 附表1.2 硅微十字槽阵列垂直方向宽度测量值 | 第126-127页 |
| 附表1.3 硅微十字槽水平、垂直方向总长的测量数据 | 第127-128页 |
| 附表1.4 硅微十字槽水平、垂直方向中心距的测量数据 | 第128-129页 |
| 附录2 ,金刚石微圆柱测量尺寸 | 第129-131页 |
| 附录2.1 金刚石微圆柱阵列水平间距测量数据 | 第129-130页 |
| 附录2.2 金刚石微圆柱阵列垂直方向中心距测量数据 | 第130-131页 |
| 附录3 ,金刚石微十字测量尺寸 | 第131-133页 |
| 附录3.1 金刚石微十字水平、垂直方向总长测量数据 | 第131-132页 |
| 附录3.2 金刚石微十字阵列水平、垂直方向中心距测量数据 | 第132-133页 |
| 附录4 ,硅微槽、金刚石微梁测量数据 | 第133-135页 |
| 附录4.1 硅微槽测量数据(9×1) | 第133-134页 |
| 附录4.2 硅微槽测量数据(17×1) | 第134-135页 |
| 附表4.3 硅微槽、金刚石微梁阵列(21×1)的测量数据 | 第135页 |
