晶圆传输真空机械手示教系统的设计与实现
| 附件 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 课题来源 | 第12页 |
| 1.3 课题背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.4 晶圆传输真空机械手概述 | 第14-17页 |
| 1.4.1 晶圆传输机械手工作环境 | 第14-16页 |
| 1.4.2 晶圆传输机械手分类 | 第16-17页 |
| 1.5 晶圆传输真空机械手示教系统 | 第17页 |
| 1.6 晶圆传输机械手示教产品发展现状和未来趋势 | 第17-19页 |
| 1.6.1 晶圆传输机械手示教产品 | 第17-19页 |
| 1.6.2 发展趋势 | 第19页 |
| 1.7 主要研究内容 | 第19-22页 |
| 第二章 晶圆传输机械手示教系统研究基础 | 第22-32页 |
| 2.1 晶圆传输机械手构成总述 | 第22-25页 |
| 2.1.1 机械结构 | 第22-23页 |
| 2.1.2 控制系统 | 第23-25页 |
| 2.2 晶圆传输机械手示教盒功能 | 第25页 |
| 2.3 技术指标和需求分析 | 第25-26页 |
| 2.4 示教盒整体方案设计 | 第26-32页 |
| 2.4.1 嵌入式系统 | 第26页 |
| 2.4.2 嵌入式系统开发流程 | 第26-27页 |
| 2.4.3 示教盒嵌入式系统的硬件选择 | 第27-29页 |
| 2.4.4 操作系统 | 第29-30页 |
| 2.4.5 应用扩展 | 第30-32页 |
| 第三章 晶圆传输机械手示教系统硬件设计 | 第32-52页 |
| 3.1 硬件系统总述 | 第32-33页 |
| 3.2 处理器模块 | 第33-35页 |
| 3.3 电源模块 | 第35-38页 |
| 3.3.1 分析需求 | 第35页 |
| 3.3.2 末级电源电路 | 第35页 |
| 3.3.3 设计前级电源电路 | 第35-38页 |
| 3.4 时钟模块硬件设计 | 第38页 |
| 3.5 存储器模块 | 第38-42页 |
| 3.6 串口模块 | 第42-43页 |
| 3.7 通信方式的选择 | 第43-45页 |
| 3.7.1 电气特性 | 第44页 |
| 3.7.2 机械特性 | 第44-45页 |
| 3.8 LCD 和触摸屏 | 第45-47页 |
| 3.9 硬件电路图设计 | 第47-52页 |
| 3.9.1 电路设计 | 第48页 |
| 3.9.2 PCB 板设计 | 第48-52页 |
| 第四章 晶圆传输机械手示教系统软件设计 | 第52-74页 |
| 4.1 开发环境和平台搭建 | 第52-53页 |
| 4.2 操作系统定制 | 第53-61页 |
| 4.2.1 Bootloader | 第53-55页 |
| 4.2.2 Linux 内核剪裁 | 第55-57页 |
| 4.2.3 Linux 内核的编译与移植 | 第57-58页 |
| 4.2.4 制作根文件系统 | 第58-59页 |
| 4.2.5 下载烧写到 ARM 平台 | 第59-61页 |
| 4.3 应用程序设计 | 第61-72页 |
| 4.3.1 示教系统功能表 | 第61-62页 |
| 4.3.2 界面设计 | 第62-64页 |
| 4.3.3 Qt 介绍 | 第64页 |
| 4.3.4 Qt 要求与架构 | 第64-65页 |
| 4.3.5 Qt 图形开发基础 | 第65-69页 |
| 4.3.6 程序编写 | 第69页 |
| 4.3.7 Qt 库和应用程序的编译和移植 | 第69-71页 |
| 4.3.8 触摸屏校准 | 第71-72页 |
| 4.4 通讯协议 | 第72-74页 |
| 第五章 实验测试 | 第74-86页 |
| 5.1 硬件测试 | 第74页 |
| 5.2 操作系统功能测试 | 第74-75页 |
| 5.3 串口通信测试 | 第75-76页 |
| 5.4 机械手功能调试 | 第76-86页 |
| 5.4.1 串口 | 第77-78页 |
| 5.4.2 归零 | 第78页 |
| 5.4.3 移动 | 第78-81页 |
| 5.4.4 晶圆转移 | 第81-82页 |
| 5.4.5 设置 | 第82-84页 |
| 5.4.6 信息 | 第84-86页 |
| 第六章 总结与展望 | 第86-90页 |
| 6.1 总结 | 第86-87页 |
| 6.2 展望 | 第87-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 附录 | 第94-112页 |
| 致谢 | 第112-114页 |
| 攻读硕士期间已发表或录用的论文 | 第114页 |
