等离子体刻蚀的多目标优化设计研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 研究意义和背景 | 第11-12页 |
| 1.2 等离子体刻蚀概述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 等离子体刻蚀步骤 | 第13-14页 |
| 1.2.2 基于CFD的等离子体刻蚀模拟模型 | 第14-16页 |
| 1.2.3 微观刻蚀结果分析 | 第16-17页 |
| 1.3 刻蚀结果评价指标及其影响因素 | 第17-19页 |
| 1.4 等离子体刻蚀过程及其优化概述 | 第19-20页 |
| 1.5 本文主要研究内容和工作 | 第20-22页 |
| 2 基于代理模型的优化理论 | 第22-30页 |
| 2.1 常用代理模型理论 | 第22-24页 |
| 2.1.1 神经网络模型 | 第22-23页 |
| 2.1.2 响应面模型 | 第23-24页 |
| 2.1.3 Kriging代理模型 | 第24页 |
| 2.2 常用取样方法 | 第24-27页 |
| 2.2.1 全因子设计方法 | 第25页 |
| 2.2.2 交试验设计方法 | 第25-26页 |
| 2.2.3 拉丁超立方和最优拉丁超立方设计方法 | 第26-27页 |
| 2.3 多目标优化方法理论概述 | 第27-30页 |
| 2.3.1 多目标粒子群算法 | 第28页 |
| 2.3.2 多目标禁忌搜索算法 | 第28-29页 |
| 2.3.3 多目标遗传算法 | 第29-30页 |
| 3 等离子体刻蚀单目标优化研究 | 第30-41页 |
| 3.1 微观参数单目标优化设计 | 第30-35页 |
| 3.1.1 微观参数分析 | 第30-32页 |
| 3.1.2 优化设计过程 | 第32-34页 |
| 3.1.3 刻蚀指标的优化结果分析 | 第34-35页 |
| 3.2 宏微观参数跨尺度单目标优化设计 | 第35-39页 |
| 3.2.1 参数灵敏度分析 | 第35-36页 |
| 3.2.2 优化过程 | 第36-39页 |
| 3.2.3 刻蚀指标的优化结果分析 | 第39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 等离子体刻蚀多目标优化研究 | 第41-56页 |
| 4.1 微观参数多目标优化设计 | 第42-46页 |
| 4.1.1 优化问题定义 | 第43页 |
| 4.1.2 优化过程介绍 | 第43-44页 |
| 4.1.3 优化结果分析及验证 | 第44-46页 |
| 4.2 宏微观参数跨尺度多目标优化设计 | 第46-54页 |
| 4.2.1 参数灵敏度分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 优化模型和优化过程 | 第48-49页 |
| 4.2.3 优化结果分析 | 第49-54页 |
| 4.3 对比分析 | 第54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 基于元胞法的刻蚀剖面演化三维模拟 | 第56-70页 |
| 5.1 三维元胞代表体元的定义 | 第56-57页 |
| 5.2 入射粒子的运动轨迹 | 第57-59页 |
| 5.3 刻蚀表面形貌的拟合 | 第59-63页 |
| 5.3.1 最小二乘多项式的拟合 | 第59-60页 |
| 5.3.2 坐标旋转方式 | 第60-63页 |
| 5.4 粒子与表面的相互作用 | 第63-66页 |
| 5.4.1 曲面直线交点计算 | 第63-64页 |
| 5.4.2 曲面上某点法线方向矢量计算 | 第64-65页 |
| 5.4.3 基于法向量的反射向量计算 | 第65-66页 |
| 5.5 三维模拟刻蚀剖面演化算例 | 第66-68页 |
| 5.5.1 刻蚀形貌可视化模型介绍 | 第66-67页 |
| 5.5.2 算例展示 | 第67-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
