| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 微流控器件概述 | 第10-13页 |
| 1.1.1 微流控器件材料 | 第10页 |
| 1.1.2 微流控器件的制作技术 | 第10-13页 |
| 1.2 微流体延时操控技术及国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 目前存在问题 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 微流体延时流动操控单元结构设计 | 第18-31页 |
| 2.1 基本原理 | 第18-21页 |
| 2.1.1 毛细现象和影响微流体流动的因素 | 第18页 |
| 2.1.2 毛细压强计算原理 | 第18-20页 |
| 2.1.3 延时流动操控单元的设计要求及思路 | 第20-21页 |
| 2.2 控制液体定向流动结构的设计 | 第21-25页 |
| 2.2.1 控制液体横向流动结构 | 第21-22页 |
| 2.2.2 控制液体侧方纵向流动结构 | 第22-24页 |
| 2.2.3 控制液体中部纵向流动结构 | 第24-25页 |
| 2.3 两种延时流动操控单元的设计 | 第25-27页 |
| 2.3.1 梳齿形延时流动操控单元 | 第25-26页 |
| 2.3.2 迷宫形延时流动操控单元 | 第26-27页 |
| 2.4 操控单元的设计参数 | 第27-30页 |
| 2.4.1 梳齿形延时流动操控单元设计参数 | 第27-28页 |
| 2.4.2 迷宫形延时流动操控单元设计参数 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小节 | 第30-31页 |
| 3 微流体延时流动操控单元的制作 | 第31-40页 |
| 3.1 制作设备及材料 | 第31页 |
| 3.2 硅模具的制作流程 | 第31-34页 |
| 3.3 操控单元中基片热压成形 | 第34-37页 |
| 3.3.1 热压成形材料预处理 | 第34页 |
| 3.3.2 热压成形工艺 | 第34-37页 |
| 3.4 操控单元的键合 | 第37-39页 |
| 3.4.1 键合材料预处理 | 第37页 |
| 3.4.2 低温键合工艺 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小节 | 第39-40页 |
| 4 延时流动操控单元流体控制实验 | 第40-58页 |
| 4.1 实验设备及材料 | 第40页 |
| 4.2 实验流程及观测参数 | 第40-42页 |
| 4.2.1 梳齿形操控单元观测参数 | 第40-41页 |
| 4.2.2 迷宫形操控单元观测参数 | 第41-42页 |
| 4.3 微流体延时流动实验 | 第42-57页 |
| 4.3.1 两种单元的延时流动过程 | 第42-43页 |
| 4.3.2 梳齿形单元的参数X1对延时流动的影响分析 | 第43-45页 |
| 4.3.3 梳齿形单元的参数X2对延时流动的影响分析 | 第45-48页 |
| 4.3.4 迷宫形单元的参数X3对延时流动的影响分析 | 第48-51页 |
| 4.3.5 迷宫单元实验参数X4和X5对延时流动的影响分析 | 第51-57页 |
| 4.4 本章小节 | 第57-58页 |
| 5 全文总结及工作展望 | 第58-60页 |
| 5.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 工作展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
