| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 综述 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 磁电阻效应的发展历程及其应用 | 第10-14页 |
| 1.2.1 磁电阻(MR)效应的发展历程 | 第10-11页 |
| 1.2.2 巨磁电阻效应(GMR)的发现及其应用 | 第11-13页 |
| 1.2.3 隧穿磁电阻效应(TMR)的发现及其应用 | 第13-14页 |
| 1.3 磁电阻传感器 | 第14-18页 |
| 1.3.1 磁电阻传感器简介 | 第14-15页 |
| 1.3.2 巨磁电阻传感器 | 第15-16页 |
| 1.3.3 隧穿磁电阻传感器 | 第16-17页 |
| 1.3.4 磁电阻传感器的应用 | 第17-18页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 1.4.1 L1_0-CoPt(FePt)结构与磁性能的优化 | 第18页 |
| 1.4.2 磁性多层膜磁电阻效应以及线性响应的研究 | 第18-20页 |
| 2 薄膜样品的制备与表征 | 第20-28页 |
| 2.1 薄膜样品的制备 | 第20-23页 |
| 2.1.1 薄膜的制备方法 | 第20页 |
| 2.1.2 磁控溅射原理 | 第20-21页 |
| 2.1.3 薄膜制备系统 | 第21-22页 |
| 2.1.4 热处理系统 | 第22-23页 |
| 2.2 实验 | 第23页 |
| 2.2.1 基片的选择与清洗 | 第23页 |
| 2.2.2 靶材 | 第23页 |
| 2.3 表征方法 | 第23-28页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第23-24页 |
| 2.3.2 薄膜厚度测试 | 第24页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜 | 第24-25页 |
| 2.3.4 薄膜磁学性能及磁电阻效应的测量 | 第25-28页 |
| 3 L1_0-CoPt薄膜结构与性能的研究 | 第28-34页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 实验 | 第28-29页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第29-33页 |
| 3.3.1 退火温度对CoPt薄膜结构、磁性及表面形貌的影响 | 第29-31页 |
| 3.3.2 退火时间对Ag/CoPt薄膜结构、磁性及表面形貌的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.3 升温速率对Ag/CoPt薄膜表面形貌的影响 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 L1_0-FePt薄膜结构与性能的研究 | 第34-42页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 实验 | 第34页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第34-40页 |
| 4.3.1 Pt 的厚度对 L1_0-FePt 薄膜结构、磁性及表面形貌的影响 | 第34-36页 |
| 4.3.2 FePt 的厚度对 L1_0-FePt 薄膜结构、磁性及表面形貌的影响 | 第36-38页 |
| 4.3.3 在线保温时间对L1_0-FePt薄膜结构、磁性的影响 | 第38-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 5 L1_0-FePt基磁性多层膜结构与线性响应的研究 | 第42-48页 |
| 5.1 引言 | 第42页 |
| 5.2 实验 | 第42-43页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第43-46页 |
| 5.3.1 FePt/Cu/Fe多层膜的磁性以及形貌 | 第43-44页 |
| 5.3.2 FePt/Cu/Fe多层膜的磁电阻效应 | 第44-45页 |
| 5.3.3 FePt/Zn O/Fe隧道结的磁电阻效应 | 第45-46页 |
| 5.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 6 结论 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 附录 | 第58页 |
| 攻读硕士期间发表的论文和申请的专利 | 第58页 |
