硅基集成化电光调制器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-21页 |
| ·集成光网络的发展 | 第11-12页 |
| ·硅基光子学 | 第12页 |
| ·光上下路复用 | 第12-13页 |
| ·光开关与调制器 | 第13-16页 |
| ·SOI光波导技术 | 第16页 |
| ·SOI光波导微调制器件 | 第16-20页 |
| ·热光调制器 | 第17页 |
| ·电光调制器 | 第17-20页 |
| ·论文的主要内容以及创新点 | 第20-21页 |
| 第二章 数值分析法 | 第21-27页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·时域有限差分法 | 第21-24页 |
| ·三维全矢量虚位移束传输法 | 第24-27页 |
| 第三章 亚微米SOI波导特性分析 | 第27-36页 |
| ·分析模型的建立 | 第27-29页 |
| ·矩形波导 | 第29-32页 |
| ·模式特性 | 第29-30页 |
| ·偏振特性 | 第30-32页 |
| ·脊形波导 | 第32-34页 |
| ·模式特性 | 第32-33页 |
| ·偏振特性 | 第33页 |
| ·界面模式转换 | 第33-34页 |
| ·传输损耗与弯曲损耗 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 光学结构设计 | 第36-51页 |
| ·MZI结构 | 第36-37页 |
| ·亚微米环形谐振腔 | 第37-49页 |
| ·基本结构 | 第38页 |
| ·散射矩阵法 | 第38-39页 |
| ·环形谐振腔性能分析 | 第39-42页 |
| ·环形谐振腔性能参数 | 第42-47页 |
| ·数值分析 | 第47-49页 |
| ·TIPPER设计 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第五章 电学结构分析及版图设计制作 | 第51-60页 |
| ·电学结构分析 | 第51-56页 |
| ·硅的等离子色散效应 | 第51-52页 |
| ·载流子的运动及分布 | 第52页 |
| ·PIN二极管 | 第52-53页 |
| ·电学结构的静态特性 | 第53-56页 |
| ·工艺介绍 | 第56页 |
| ·版图设计及工艺流程 | 第56-60页 |
| 第六章 器件测试及结果分析 | 第60-74页 |
| ·测试环境 | 第60-62页 |
| ·调制器待测试参数 | 第62-63页 |
| ·亚微米光波导模式及偏振特性测试 | 第63-65页 |
| ·微环谐振腔性能测试及实验结果分析 | 第65-69页 |
| ·调制器测试及实验结果分析 | 第69-73页 |
| ·电光调制器的静态特性 | 第70页 |
| ·调制器的动态特性 | 第70-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第七章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·全文总结及主要贡献 | 第74-75页 |
| ·下一步工作和未来研究方向 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
