| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第11-27页 |
| 1.1 绪论 | 第11-12页 |
| 1.2 ZnO材料的基本性质 | 第12-13页 |
| 1.3 ZnO材料的研究热点 | 第13-14页 |
| 1.4 p型ZnO材料的研究进展 | 第14-18页 |
| 1.4.1 本征p型ZnO | 第15页 |
| 1.4.2 掺杂p型ZnO | 第15-18页 |
| 1.4.3 ZnO与S合金化后掺杂 | 第18页 |
| 1.5 论文选题依据与研究内容 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-27页 |
| 第二章 ZnO薄膜制备技术和表征方法 | 第27-43页 |
| 2.1 ZnO薄膜制备技术及其原理 | 第27-31页 |
| 2.1.1 磁控溅射薄膜制备技术及其原理 | 第27-30页 |
| 2.1.2 热退火设备 | 第30-31页 |
| 2.2 样品的分析和表征手段 | 第31-42页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| 2.2.2 霍耳效应(Hall) | 第32-35页 |
| 2.2.3 透射和吸收光谱 | 第35-36页 |
| 2.2.4 微区光致发光谱(PL) | 第36-37页 |
| 2.2.5 扫描电子显微镜(SEM) | 第37-38页 |
| 2.2.6 X射线光电子能谱(XPS) | 第38-40页 |
| 2.2.7 二次离子质谱仪(SIMS) | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 Sb掺杂p型ZnO薄膜的制备及受主形成机制的研究 | 第43-61页 |
| 3.1 前言 | 第43-44页 |
| 3.2 Sb掺杂ZnO薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 3.3 Sb掺杂ZnO薄膜的性质测试与分析 | 第45-56页 |
| 3.3.1 原生Sb掺杂ZnO薄膜的性质测试与分析 | 第45-50页 |
| 3.3.1.1 原生样品的结构和成分分析 | 第45-48页 |
| 3.3.1.2 原生样品中Sb元素的存在形式分析 | 第48-50页 |
| 3.3.2 退火后Sb掺杂ZnO薄膜的性能测试与分析 | 第50-56页 |
| 3.3.2.1 退火后样品的结构表征 | 第50-51页 |
| 3.3.2.2 退火后样品的电学性能表征 | 第51-52页 |
| 3.3.2.3 退火后样品的组分以及Sb元素化学态的表征与分析 | 第52-55页 |
| 3.3.2.4 退火后样品的光致发光性能研究 | 第55-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 第四章 Ag掺杂ZnO薄膜的制备与性能研究 | 第61-75页 |
| 4.1 前言 | 第61-62页 |
| 4.2 Ag掺杂ZnO薄膜的制备 | 第62-63页 |
| 4.2.1 靶材的制备 | 第62页 |
| 4.2.2 Ag掺杂ZnO薄膜的制备 | 第62-63页 |
| 4.3 衬底温度对Ag掺杂ZnO薄膜结构和性能影响 | 第63-70页 |
| 4.3.1 Ag掺杂ZnO薄膜的成分分析与结构表征 | 第63-66页 |
| 4.3.2 Ag掺杂ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第66页 |
| 4.3.3 Ag掺杂ZnO薄膜的吸收光谱分析 | 第66-68页 |
| 4.3.4 Ag掺杂ZnO薄膜的光致发光谱分析 | 第68-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 第五章 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的制备与性能分析 | 第75-91页 |
| 5.1 前言 | 第75-76页 |
| 5.2 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的制备 | 第76-77页 |
| 5.2.1 靶材的制备 | 第76页 |
| 5.2.2 Ag掺杂ZnO薄膜的制备 | 第76-77页 |
| 5.3 衬底温度对Ag-S共掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第77-82页 |
| 5.3.1 不同衬底温度生长的Ag-S共掺杂ZnO薄膜结构表征与成分分析 | 第77-80页 |
| 5.3.2 不同衬底温度生长的Ag-S共掺杂ZnO薄膜的电学性质 | 第80页 |
| 5.3.3 不同衬底温度生长的Ag-S共掺杂ZnO薄膜光致发光结果分析 | 第80-82页 |
| 5.4 调整实验条件制备p型Ag-S共掺杂ZnO薄膜 | 第82-88页 |
| 5.4.1 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的电学性质 | 第82-83页 |
| 5.4.2 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第83-84页 |
| 5.4.3 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的成分分析 | 第84-86页 |
| 5.4.4 Ag-S共掺杂ZnO薄膜的XPS分析 | 第86-87页 |
| 5.4.5 S对Ag在ZnO薄膜的固溶度的影响 | 第87-88页 |
| 5.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 第六章 全文总结 | 第91-93页 |
| 攻读博士学位期间承担的主要工作及成果 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |
| 作者简历 | 第97页 |
