| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 大功率CO_2激光器电极结构的发展 | 第11-14页 |
| 1.2 射频板条CO_2激光器电极材料与膜层材料的发展 | 第14-18页 |
| 1.3 Al_2O_3波导介质膜制备技术发展动态 | 第18-23页 |
| 1.4 本文的目的和意义 | 第23-26页 |
| 2 电极表面Al_2O_3介质膜波导特性研究 | 第26-34页 |
| 2.1 射频板条激光器光波导 | 第26-29页 |
| 2.2 Al_2O_3波导介质膜对CO_2光波反常色散特性 | 第29-32页 |
| 2.3 Al_2O_3抗电子溅射、抗激光损伤特性 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 电极表面Al_2O_3膜层扩散冷却特性分析 | 第34-43页 |
| 3.1 射频板条CO_2激光器电极冷却流道设计 | 第34-36页 |
| 3.2 板条电极镀Al_2O_3膜前后温度场模拟 | 第36-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 热丝化学气相沉积(HFCVD)方法高温制备Al_2O_3薄膜 | 第43-55页 |
| 4.1 实验条件 | 第43-44页 |
| 4.2 HFCVD方法Al_2O_3镀膜工艺研究 | 第44-46页 |
| 4.3 镀膜结果测试与分析 | 第46-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 磁控溅射方法制备Al_2O_3薄膜 | 第55-81页 |
| 5.1 实验条件 | 第55-58页 |
| 5.2 镀膜工艺分析优化 | 第58-63页 |
| 5.3 磁控溅射Al_2O_3波导介质膜镀膜实验 | 第63-65页 |
| 5.4 Al_2O_3度膜层物相分析 | 第65-75页 |
| 5.5 镀膜电极试样光学特性检测 | 第75-79页 |
| 5.6 本章小结 | 第79-81页 |
| 6 镀膜电极放电实验研究 | 第81-102页 |
| 6.1 2kW射频板条CO_2激光器实验系统 | 第81-82页 |
| 6.2 放电性能检测检测 | 第82-90页 |
| 6.3 镀膜电极放电热稳定性测试分析 | 第90-94页 |
| 6.4 电极波导损耗实验 | 第94-98页 |
| 6.5 镀膜电极表面抗氧化、抗激光损伤分析 | 第98-100页 |
| 6.6 本章小结 | 第100-102页 |
| 7 全文总结与展望 | 第102-106页 |
| 7.1 本论文主要工作总结 | 第102-103页 |
| 7.2 下一步工作建议 | 第103-104页 |
| 7.3 主要创新点 | 第104-106页 |
| 致谢 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-117页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第117-118页 |
| 附录2 攻读博士学位期间参与的科研活动 | 第118页 |
