| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 微V槽的应用与特性 | 第13-16页 |
| 1.2 微V槽超精密机床几何误差补偿的意义 | 第16-17页 |
| 1.3 微V槽超精密机床几何误差补偿的特点 | 第17-18页 |
| 1.4 国内外研究现状及分析 | 第18-23页 |
| 1.4.1 微V槽微结构加工的研究 | 第18-19页 |
| 1.4.2 超精密机床几何误差补偿的研究 | 第19-23页 |
| 1.5 本课题的主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 微V槽超精密机床的垂直度误差分析 | 第26-40页 |
| 2.1 垂直度误差产生的原因 | 第26-28页 |
| 2.2 基于小角度误差假设的垂直度误差分析 | 第28-31页 |
| 2.3 垂直度误差变换矩阵的改进 | 第31-33页 |
| 2.4 垂直度误差的辨识 | 第33-36页 |
| 2.5 垂直度误差的精算 | 第36-39页 |
| 2.6 本章总结 | 第39-40页 |
| 第三章 基于垂直度误差精算的几何误差建模 | 第40-56页 |
| 3.1 几何误差的组成 | 第40-42页 |
| 3.2 多体系统的基本描述方法 | 第42-47页 |
| 3.2.1 用于多体系统理论的拓扑结构和低序体阵列 | 第42-43页 |
| 3.2.2 多体系统中相邻体间的坐标变换矩阵 | 第43-47页 |
| 3.3 微V槽超精密机床的几何误差模型 | 第47-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 单项运动副误差的快速精密测量与辨识 | 第56-74页 |
| 4.1 九线几何误差辨识法 | 第56-62页 |
| 4.1.1 X轴单项运动副误差的辨识 | 第57-59页 |
| 4.1.2 Y轴单项运动副误差的辨识 | 第59-61页 |
| 4.1.3 Z轴单项运动副误差的辨识 | 第61-62页 |
| 4.2 六线几何误差辨识法 | 第62-69页 |
| 4.2.1 X轴单项运动副误差的辨识 | 第64-65页 |
| 4.2.2 Y轴单项运动副误差的辨识 | 第65-67页 |
| 4.2.3 Z轴单项运动副误差的辨识 | 第67-69页 |
| 4.3 六线几何误差辨识法的应用 | 第69-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 单项运动副误差的多项式拟合及其优化 | 第74-89页 |
| 5.1 多项式拟合法的概述 | 第74-76页 |
| 5.2 优化多项式拟合函数的流程 | 第76-77页 |
| 5.3 优化多项式拟合函数的统计学原理 | 第77-79页 |
| 5.4 优化多项式拟合函数理论的应用 | 第79-88页 |
| 5.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 几何误差补偿技术及实验研究 | 第89-119页 |
| 6.1 微V槽超精密机床几何误差软件补偿的流程 | 第89-90页 |
| 6.2 微V槽超精密机床几何误差软件补偿策略 | 第90-92页 |
| 6.3 数控修正指令的直接计算法 | 第92-96页 |
| 6.3.1 数控指令到刀具路线的理想关系 | 第93页 |
| 6.3.2 数控指令到刀具路线的实际关系 | 第93-95页 |
| 6.3.3 迭代终止判断条件 | 第95-96页 |
| 6.4 数控修正指令的附加指令法 | 第96-113页 |
| 6.4.1 建立目标函数 | 第96-97页 |
| 6.4.2 确定搜索区间 | 第97-100页 |
| 6.4.3 搜索最佳的附加指令 | 第100-102页 |
| 6.4.4 搜索最佳附加指令算法的实例分析 | 第102-113页 |
| 6.5 实验研究 | 第113-118页 |
| 6.5.1 垂直度误差精算的效果 | 第113-114页 |
| 6.5.2 六线几何误差辨识法的验证 | 第114-116页 |
| 6.5.3 优化多项式拟合函数理论的验证 | 第116-117页 |
| 6.5.4 微V槽的测量 | 第117-118页 |
| 6.6 本章小结 | 第118-119页 |
| 总结与展望 | 第119-122页 |
| 参考文献 | 第122-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
| 附录 | 第134页 |