| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 加速度计和陀螺仪的国内外研究动态 | 第10-16页 |
| 1.2.1 微机械加速度计 | 第10-13页 |
| 1.2.2 微机械陀螺仪 | 第13-16页 |
| 1.3 MIMU的国内外研究动态 | 第16-18页 |
| 1.4 集成化MIMU的国内外研究动态 | 第18页 |
| 1.5 本课题研究内容及安排 | 第18-20页 |
| 第二章 MIMU的基本理论 | 第20-32页 |
| 2.1 微惯性传感器的理论基础 | 第20-22页 |
| 2.1.1 微惯性传感器的基本工作原理 | 第20页 |
| 2.1.2 惯性力和运动参考系 | 第20-22页 |
| 2.2 MIMU的动力学分析 | 第22-26页 |
| 2.2.1 电容式加速度计的动力学模型 | 第22-23页 |
| 2.2.2 线振动陀螺仪的动力学模型 | 第23-26页 |
| 2.3 MIMU的驱动与检测 | 第26-29页 |
| 2.3.1 静电推挽驱动 | 第26-28页 |
| 2.3.2 梳齿电容检测 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-32页 |
| 第三章 集成化MIMU的结构设计 | 第32-46页 |
| 3.1 MIMU的集成化方案 | 第32-34页 |
| 3.1.1 常用MIMU的集成化方案 | 第32-33页 |
| 3.1.2 MIMU集成化方案设计 | 第33-34页 |
| 3.2 水平轴加速度计陀螺仪工作原理分析和结构设计 | 第34-40页 |
| 3.2.1 工作原理 | 第34页 |
| 3.2.2 结构设计 | 第34-40页 |
| 3.3 垂直轴加速度计陀螺仪工作原理分析和结构设计 | 第40-43页 |
| 3.3.1 工作原理 | 第40-41页 |
| 3.3.2 结构设计 | 第41-43页 |
| 3.4 集成化MIMU的整体结构 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 集成化MIMU结构的仿真分析 | 第46-62页 |
| 4.1 有限元技术简介 | 第46页 |
| 4.1.1 有限元分析基础 | 第46页 |
| 4.1.2 ANSYS有限元分析软件 | 第46页 |
| 4.2 静力学仿真分析 | 第46-51页 |
| 4.2.1 微位移分析 | 第47-48页 |
| 4.2.2 重力分析 | 第48-51页 |
| 4.3 动力学仿真分析 | 第51-61页 |
| 4.3.1 模态仿真分析 | 第51-54页 |
| 4.3.2 谐响应分析 | 第54-57页 |
| 4.3.3 瞬态冲击响应分析 | 第57-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 集成化MIMU系统的仿真分析 | 第62-76页 |
| 5.1 集成化MIMU系统 | 第62-64页 |
| 5.1.1 集成化MIMU系统构成 | 第62-63页 |
| 5.1.2 陀螺仪测控电路工作原理 | 第63-64页 |
| 5.1.3 加速度计测控电路工作原理 | 第64页 |
| 5.2 集成化MIMU系统分析 | 第64-74页 |
| 5.2.1 陀螺仪系统分析 | 第65-71页 |
| 5.2.2 加速度计系统分析 | 第71-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第76-77页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 作者简介 | 第84页 |