| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-13页 |
| 1.3 国内外研究现状及分析 | 第13-19页 |
| 1.3.1 软测量技术 | 第13-16页 |
| 1.3.2 启发式优化算法 | 第16-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 掩模台的系统结构 | 第21-40页 |
| 2.1 平台的整体构成 | 第21-22页 |
| 2.2 掩模台机械系统 | 第22-25页 |
| 2.2.1 微动台机械系统 | 第23-24页 |
| 2.2.2 宏动台机械系统 | 第24-25页 |
| 2.3 掩模台驱动系统 | 第25-29页 |
| 2.3.1 掩模台系统坐标系定义 | 第25-26页 |
| 2.3.2 微动台驱动系统 | 第26-28页 |
| 2.3.3 宏动台驱动系统 | 第28-29页 |
| 2.4 掩模台测量系统 | 第29-35页 |
| 2.4.1 激光干涉仪 | 第29-31页 |
| 2.4.2 电容传感器 | 第31-33页 |
| 2.4.3 霍尔传感器 | 第33-34页 |
| 2.4.4 光栅尺 | 第34-35页 |
| 2.5 掩模台控制系统 | 第35-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 软测量算法研究 | 第40-55页 |
| 3.1 启发式优化算法 | 第40页 |
| 3.2 教学优化算法 | 第40-45页 |
| 3.2.1 教师教学部分 | 第41-43页 |
| 3.2.2 学生互学部分 | 第43-45页 |
| 3.3 自适应混合TLBO算法 | 第45-49页 |
| 3.4 算法性能测试 | 第49-54页 |
| 3.4.1 人口数量Np对算法性能的影响 | 第50页 |
| 3.4.2 单学习周期迭代次数Gm对算法性能的影响 | 第50-51页 |
| 3.4.3 算法性能对比研究 | 第51-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 测量系统机械安装参数的软测量方法 | 第55-75页 |
| 4.1 霍尔传感器测量系统分析 | 第55-57页 |
| 4.2 霍尔传感器测量系统模型建立 | 第57-63页 |
| 4.2.1 霍尔传感器解耦模型建立 | 第57-62页 |
| 4.2.2 霍尔传感器输出校正模型建立 | 第62-63页 |
| 4.3 霍尔传感器测量系统软测量实验 | 第63-74页 |
| 4.3.1 忽略垂向自由度变化下的实验分析 | 第64-69页 |
| 4.3.2 考虑垂向自由度变化下的实验分析 | 第69-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 执行器机械安装参数的软测量方法 | 第75-101页 |
| 5.1 驱动机构解耦系统分析 | 第75-76页 |
| 5.2 驱动机构解耦模型建立 | 第76-83页 |
| 5.2.1 电机出力解耦模型 | 第76-80页 |
| 5.2.2 质心坐标系旋转模型 | 第80-81页 |
| 5.2.3 微动台中心质心坐标系转换模型 | 第81-83页 |
| 5.3 驱动机构解耦模型软测量仿真 | 第83-91页 |
| 5.3.1 各项参数允许误差范围测试 | 第84-87页 |
| 5.3.2 驱动机构解耦模型软测量仿真实验 | 第87-91页 |
| 5.4 驱动机构解耦模型软测量实验 | 第91-100页 |
| 5.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 结论 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-108页 |
| 附录 1 | 第108-110页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112页 |