| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 波导光栅的研究概况 | 第9-10页 |
| 1.2 聚合物波导光栅的研究进展 | 第10-11页 |
| 1.3 聚合物波导布拉格光栅的制备方法 | 第11-15页 |
| 1.3.1 双光束干涉光刻 | 第12页 |
| 1.3.2 电子束光刻 | 第12-13页 |
| 1.3.3 相位掩膜 | 第13-14页 |
| 1.3.4 纳米压印 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 波导布拉格光栅的理论基础与设计方法 | 第17-27页 |
| 2.1 矩形波导的设计方法 | 第17-21页 |
| 2.1.1 矩形波导的马卡梯里近似解法 | 第17-19页 |
| 2.1.2 矩形波导的有效折射率法 | 第19-20页 |
| 2.1.3 矩形波导单模传输条件 | 第20-21页 |
| 2.2 波导布拉格光栅的耦合模理论 | 第21-25页 |
| 2.2.1 光波导中的模式 | 第21-22页 |
| 2.2.2 布拉格光栅耦合模理论 | 第22-24页 |
| 2.2.3 传输矩阵法 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 双光束干涉法制备聚合物波导布拉格光栅 | 第27-41页 |
| 3.1 双光束干涉曝光及测试系统的设计与光路搭建 | 第27-31页 |
| 3.1.1 基于劳埃德镜的双光束干涉系统曝光光路的搭建及优化 | 第27-29页 |
| 3.1.2 测试光路的搭建与测试 | 第29-31页 |
| 3.2 大面积光栅结构的制备 | 第31-37页 |
| 3.2.1 光刻胶膜厚的确定 | 第31-33页 |
| 3.2.2 光刻参数确定 | 第33-37页 |
| 3.3 聚合物波导布拉格光栅器件的制备 | 第37-39页 |
| 3.3.1 双光束干涉法制备聚合物波导布拉格光栅的制备流程 | 第37-39页 |
| 3.4 实验测试结果及分析 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 三阶聚合物波导布拉格光栅的设计与制备 | 第41-51页 |
| 4.1 高阶布拉格光栅的理论 | 第41-42页 |
| 4.2 三阶聚合物波导布拉格光栅的设计与制备 | 第42-46页 |
| 4.2.1 三阶波导布拉格光栅的波导结构设计 | 第42-45页 |
| 4.2.2 三阶波导布拉格光栅的制备 | 第45-46页 |
| 4.3 三阶聚合物波导布拉格光栅测试 | 第46-47页 |
| 4.4 三阶聚合物切趾波导布拉格光栅 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 三阶聚合物取样波导布拉格光栅的制备 | 第51-59页 |
| 5.1 取样光栅理论研究 | 第51-52页 |
| 5.1.1 传输矩阵法分析取样光栅 | 第51-52页 |
| 5.2 取样光栅的掩膜板设计 | 第52-53页 |
| 5.3 三阶聚合物取样波导布拉格光栅的制备 | 第53-55页 |
| 5.4 三阶取样波导布拉格光栅的测试结果与分析 | 第55-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59页 |
| 6.2 展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 硕士期间发表论文 | 第67页 |