新型小型化石英振子设计与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 石英晶体振荡器 | 第11页 |
| 1.2 石英晶体振荡器研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 伸缩振动石英晶体振荡器 | 第13-14页 |
| 1.2.2 弯曲振动石英晶体振荡器 | 第14-15页 |
| 1.2.3 面切变振动石英晶体振荡器 | 第15页 |
| 1.2.4 厚度切变振动石英晶体振荡器 | 第15-16页 |
| 1.3 小型化石英振子研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 论文研究意义、内容及章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 石英晶体振荡器工作原理 | 第19-33页 |
| 2.1 石英晶体的基础理论 | 第19-26页 |
| 2.1.1 石英晶体的介电性质 | 第21-22页 |
| 2.1.2 石英晶体的弹性性质 | 第22-24页 |
| 2.1.3 石英晶体的压电性质 | 第24-26页 |
| 2.2 石英晶体的压电方程 | 第26-29页 |
| 2.3 石英晶体能陷效应 | 第29-31页 |
| 2.4 振荡器基本工作原理 | 第31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 新型小型化石英振子设计 | 第33-52页 |
| 3.1 AT切型矩形石英振子传统设计 | 第33-38页 |
| 3.1.1 AT切型石英振子振动频率设计 | 第33-36页 |
| 3.1.2 AT切型石英振子尺寸设计 | 第36-37页 |
| 3.1.3 AT切型石英振子外形设计 | 第37-38页 |
| 3.2 新型小型化石英振子结构 | 第38-40页 |
| 3.3 新型石英振子有限元设计 | 第40-51页 |
| 3.3.1 有限元法 | 第40-41页 |
| 3.3.2 构建石英晶体振荡器模型步骤 | 第41-44页 |
| 3.3.3 仿真结果分析 | 第44-46页 |
| 3.3.4 凸台高度对石英振子振动影响 | 第46-50页 |
| 3.3.5 凸台面积对石英振子振动影响 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 新型小型化石英振子制作 | 第52-74页 |
| 4.1 石英振子晶片传统加工工艺 | 第52-59页 |
| 4.2 QMEMS加工工艺 | 第59-61页 |
| 4.3 新型石英振子晶片加工工艺 | 第61-72页 |
| 4.3.1 石英振子晶片尺寸加工 | 第62-70页 |
| 4.3.1.1 石英腐蚀温度对石英振子影响 | 第64-67页 |
| 4.3.1.2 石英腐蚀浓度对石英振子影响 | 第67-70页 |
| 4.3.2 石英振子晶片外形加工 | 第70-72页 |
| 4.3.3 石英振子晶片频率调整 | 第72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 新型小型化石英振子测试 | 第74-79页 |
| 5.1 石英振荡器封装 | 第74-75页 |
| 5.2 新型石英振荡器成品测试 | 第75-78页 |
| 5.3 参数分析 | 第78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论 | 第79-81页 |
| 6.1 本文的主要贡献 | 第79页 |
| 6.2 下一步工作的展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
