| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 主要符号表 | 第13-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第14-15页 |
| 1.1.2 课题的研究意义 | 第15-16页 |
| 1.2 单晶硅及金刚石性比较 | 第16页 |
| 1.3 超精密加工及超精密机床的发展 | 第16-20页 |
| 1.3.1 超精密加工的发展 | 第16-18页 |
| 1.3.2 超精密机床的发展 | 第18-20页 |
| 1.4 刀具磨损现状 | 第20-21页 |
| 1.4.1 国内研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4.2 国外研究现状 | 第21页 |
| 1.5 刀具磨损抑制的研究现状 | 第21-22页 |
| 1.6 课题主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 工艺参数对单晶硅超精密加工切削力的影响 | 第24-33页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 试验设备及规划 | 第24-26页 |
| 2.2.1 实验设备及试件材料 | 第24-25页 |
| 2.2.2 试验规划 | 第25-26页 |
| 2.3 试验结果与分析 | 第26-30页 |
| 2.3.1 切削深度对切削力的影响 | 第26-27页 |
| 2.3.2 进给量与切削力的关系 | 第27-28页 |
| 2.3.3 切削速度与切削力的关系 | 第28-29页 |
| 2.3.4 切削前角与切削力的关系 | 第29-30页 |
| 2.3.5 切削合力的计算 | 第30页 |
| 2.4 切削参数的选取 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 单晶硅超精密切削的刀具磨损试验研究 | 第33-49页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 试验设备与试验规划 | 第33-35页 |
| 3.2.1 试验设备 | 第33-35页 |
| 3.2.2 试验规划 | 第35页 |
| 3.3 刀具磨损与分析 | 第35-38页 |
| 3.4 单晶金刚石车刀磨损机理 | 第38-42页 |
| 3.4.1 碳化硅颗粒的形成 | 第40-41页 |
| 3.4.2 类金刚石颗粒的形成 | 第41-42页 |
| 3.5 单晶金刚石刀具磨损形式 | 第42-44页 |
| 3.5.1 磨粒磨损 | 第42-43页 |
| 3.5.2 切削刃崩刃 | 第43页 |
| 3.5.3 化学磨损 | 第43-44页 |
| 3.6 刀具寿命预测 | 第44-46页 |
| 3.7 刀具磨损对粗糙度的影响 | 第46-48页 |
| 3.8 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 一种减少圆弧形车刀磨损的往复摆动刀架的设计 | 第49-54页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 传统刀架存在的问题 | 第49-50页 |
| 4.3 设计内容 | 第50-52页 |
| 4.4 关键技术 | 第52-53页 |
| 4.5 使用过程 | 第53-54页 |
| 第5章 金刚石刀具磨损的抑制方法 | 第54-65页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 试验 | 第54-56页 |
| 5.2.1 刀具与试件材料 | 第54页 |
| 5.2.2 切削条件与检测设备 | 第54-56页 |
| 5.3 摆动刀具磨损形貌演变过程及磨损机理 | 第56-60页 |
| 5.3.1 刀具磨损形貌演变过程 | 第56-57页 |
| 5.3.2 刀具磨损机理 | 第57-60页 |
| 5.4 工艺参数对刀具磨损的实验研究 | 第60-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士期间发表（含录用）的学术论文 | 第72页 |