| 中文摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-36页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 晶体管器件简介 | 第14-17页 |
| 1.3 半导体层类型 | 第17-29页 |
| 1.3.1 硅半导体晶体管 | 第17-18页 |
| 1.3.2 金属氧化物半导体 | 第18-20页 |
| 1.3.3 有机半导体 | 第20-22页 |
| 1.3.4 量子点 | 第22-23页 |
| 1.3.5 碳纳米管和石墨烯 | 第23-25页 |
| 1.3.6 其它二维材料 | 第25-28页 |
| 1.3.7 小结 | 第28-29页 |
| 1.4 金属氧化物和有机半导体层的制备工艺 | 第29-34页 |
| 1.4.1 气相法 | 第29-31页 |
| 1.4.1.1 物理气相沉积 | 第29-30页 |
| 1.4.1.2 化学气相沉积 | 第30页 |
| 1.4.1.3 磁控溅射 | 第30-31页 |
| 1.4.1.4 脉冲激光沉积 | 第31页 |
| 1.4.1.5 分子束外延 | 第31页 |
| 1.4.2 溶液法 | 第31-34页 |
| 1.4.2.1 旋涂法 | 第31-32页 |
| 1.4.2.2 提拉法 | 第32页 |
| 1.4.2.3 溶液剪切法 | 第32页 |
| 1.4.2.4 喷涂法 | 第32页 |
| 1.4.2.5 绕线的棒式涂布法和刮涂法 | 第32-33页 |
| 1.4.2.6 气溶胶喷射法 | 第33页 |
| 1.4.2.7 喷墨打印法 | 第33页 |
| 1.4.2.8 丝网印刷 | 第33-34页 |
| 1.4.2.9 凹版印刷 | 第34页 |
| 1.4.3 小结 | 第34页 |
| 1.5 前言分析及本论文主要研究内容 | 第34-36页 |
| 第二章 碳水化合物辅助燃烧合成实现高性能氧化物晶体管 | 第36-54页 |
| 2.1 引言 | 第36-37页 |
| 2.2 实验部分 | 第37-39页 |
| 2.2.1 IGZO前驱体制备 | 第37页 |
| 2.2.2 DSC和TGA测量 | 第37-38页 |
| 2.2.3 氧化物薄膜制备及器件性能 | 第38页 |
| 2.2.4 氧化薄膜结构的表征 | 第38-39页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第39-52页 |
| 2.3.1 葡萄糖辅助燃烧的IGZO晶体管测试 | 第39-43页 |
| 2.3.2 真空干燥后的前驱体的热分析 | 第43-46页 |
| 2.3.3 不同糖对IGZO晶体管性能的影响 | 第46-49页 |
| 2.3.4 薄膜形态和组织结构 | 第49-52页 |
| 2.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第三章 协同燃烧合成金属氧化物半导体的薄膜晶体管 | 第54-73页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 实验部分 | 第54-56页 |
| 3.2.1 前驱体的制备 | 第54-55页 |
| 3.2.2 前驱体的化学和结构表征 | 第55-56页 |
| 3.2.3 薄膜制备及结构形态表征 | 第56页 |
| 3.2.4 IGZO薄膜晶体管的测试 | 第56页 |
| 3.3 结果 | 第56-63页 |
| 3.3.1 燃烧前驱体的表征 | 第56-60页 |
| 3.3.2 IGZO薄膜晶体管电学性能 | 第60-63页 |
| 3.4 讨论 | 第63-72页 |
| 3.4.1 薄膜形态和微观结构 | 第63-65页 |
| 3.4.2 前驱体的化学表征 | 第65-72页 |
| 3.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第四章 喷雾燃烧合成法制备溶液加工全氧化物透明高性能晶体管 | 第73-92页 |
| 4.1 引言 | 第73-74页 |
| 4.2 实验部分 | 第74-76页 |
| 4.2.1 材料和前驱体制备 | 第74-75页 |
| 4.2.2 金属氧化物薄膜的制备 | 第75页 |
| 4.2.3 薄膜的结构表征及器件性能 | 第75-76页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第76-91页 |
| 4.3.1 电介质的制备与性能 | 第76-82页 |
| 4.3.2 喷雾燃烧法制备的器件性能 | 第82-87页 |
| 4.3.3 喷雾燃烧法制备的全金属氧化物晶体管 | 第87-91页 |
| 4.4 本章小结 | 第91-92页 |
| 第五章 快速提拉法在疏水表面图案化生长有机半导体薄膜 | 第92-104页 |
| 5.1 引言 | 第92-93页 |
| 5.2 实验部分 | 第93-94页 |
| 5.2.1 材料与薄膜制备 | 第93页 |
| 5.2.2 有机薄膜的表征及器件测试 | 第93-94页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第94-103页 |
| 5.3.1 薄膜的形态和结构 | 第94-96页 |
| 5.3.2 薄膜选择性生长的研究 | 第96-101页 |
| 5.3.3 图案化有机薄膜晶体管的电学表征 | 第101-103页 |
| 5.4 本章小结 | 第103-104页 |
| 第六章 快速图案化制备的有机半导体晶体管及其氨气传感器性能的研究 | 第104-115页 |
| 6.1 引言 | 第104-105页 |
| 6.2 实验部分 | 第105页 |
| 6.2.1 图案化晶体管的制备 | 第105页 |
| 6.2.2 薄膜形态及结构表征 | 第105页 |
| 6.2.3 器件的气体传感测试 | 第105页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第105-114页 |
| 6.3.1 微条带的形态与晶体结构 | 第105-108页 |
| 6.3.2 薄膜晶体管的氨气传感性能 | 第108-111页 |
| 6.3.3 氨气传感机理探讨 | 第111-114页 |
| 6.4 本章小结 | 第114-115页 |
| 结论 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-136页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第136-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
